Transferkatalog der BTU Cottbus-Senftenberg

Fachgebiet Mikro- und Nanosysteme Fakultät 1 - MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik

Kompetenzen / Forschungsgebiete

  • Erforschung und Entwicklung von siliziumbasierten MEMS-Bauelementen und darauf aufbauender Systeme
  • Herstellung von mikro- und nanoskalierten Aktoren und Sensoren
  • Systemintegration
  • Applikationsevaluierung

Ausstattung

  • Digitales Holographie Mikroskop (DHM)
  • Optisches Mikroskop
  • Optische Bank
  • Digitale Oszilloskope
  • Source measure unit
  • Funktionsgeneratoren
  • Digitalmultimeter
  • Diverse Labornetzteile (u.a. Tektronix)

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