Aktuelles

5.04.2018: Feierliche Eröffnung Fraunhofer IPMS-ISS

2012 in enger Zusammenarbeit zwischen dem Fraunhofer IPMS und der BTU Cottbus-Senftenberg gegründet, entwickelte die Fraunhofer-Projektgruppe Mesoskopische Aktoren und Systeme MESYSeine neue Klasse elektrostatischer Biegewandler an den Standorten in Dresden und Cottbus. Waren die Anfänge hauptsächlich durch die Forschung und Entwicklung sowie Erprobung der sogenannten nanoskopischen elektrostatischen Antriebe (engl. nanoscopic electrostatic drives, NED) geprägt, stand in der Endphase deren Einsatz in den Anwendungsgebieten Mikroakustik und Mikrofluidik im Vordergrund. Die von MESYS entwickelte und bereits patentierte neue Aktorklasse ist CMOS-kompatibel und löst fundamentale Probleme elektrostatischer Aktoren. Aufgrund der potenziell hohen Anzahl möglicher Einsatzgebiete und der möglichen technologischen Umsetzungsvarianten sollte MESYS nun zu einem Geschäftsfeld ausgebaut werden. Nach der erfolgreichen Evaluierung der Projektgruppe durch Gutachter im September 2017 und der Bestätigung des Bund-Länder-Ausschusses der Fraunhofer-Gesellschaft im November 2017, war der Weg dafür geebnet. Zum 1. Januar 2018 ist das neue Geschäftsfeld »Monolithisch integrierte Aktor- und Sensorsysteme« (MAS) gegründet worden, das nun in Cottbus am ebenfalls neu gegründeten Institutsteil  »Integrated Silicon Systems« (ISS)des Fraunhofer IPMS aktiv ist. Neben dem neuen Geschäftsfeld MAS werden Terahertz-Mikromodule und -Applikationen ein weiterer Forschungsschwerpunkt am Fraunhofer IPMS-ISS sein.

Die Arbeiten der Fraunhofer-Projektgruppe MESYS wurden durch das Ministerium für Wissenschaft, Forschung und Kultur MWFK des Landes Brandenburg und durch die BTU Cottbus-Senftenberg gefördert.

Die feierliche Eröffnung findet am 19. April 2018 um 9:30 Uhr am Zentralcampus Cottbus, Verfügungsgebäude 1 C, Konrad-Wachsmann-Allee 5, 03046 Cottbus statt.

21.12.2017: Fraunhofer IPMS setzt Forschung an Mesoskopischen Aktoren und Systemen in Brandenburg fort

Nach erfolgreicher Evaluierung der Fraunhofer-Projektgruppe MESYS äußerte sich nun auch der Bund-Länder-Ausschuss positiv und ebnete dem Fraunhofer IPMS somit den Weg, seine Forschungsaktivitäten an neuartigen elektrostatischen Mikroaktoren in Brandenburg weiter fortzusetzen.

Die ausführliche Pressemitteilung finden Sie hier.

2.2.2017: Fraunhofer IPMS erhält Preis für neuartige, leistungsfähige Klasse elektrostatischer Mikroaktoren

Für seine Forschungsergebnisse im Projekt „Nano e-drive“ wurde der Wissenschaftler Holger Conrad vom Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS in Dresden durch das Bundesministerium für Bildung und Forschung BMBF mit dem 1. Platz für den  VIP / VIP+ Validierungspreis 2017 ausgezeichnet. Der Preis wurde im Rahmen der Innovationstagung zur Fördermaßnahme „Validierung des gesellschaftlichen und technologischen Innovationspotenzials wissenschaftlicher Forschung“ (VIP/VIP+) durch den Parlamentarischen Staatssekretär Stefan Müller am 1. Februar 2017 in Berlin verliehen.

Die ausführliche Pressemitteilung finden Sie hier.  

16.10.2016: Max-Grünebaum-Preise in Cottbus zum 20. Mal an Künstler und Wissenschaftler verliehen

Die Max-Grünebaum-Stiftung würdigte in Cottbus Künstler des Staatstheaters Cottbus und Wissenschaftler der BTU Cottbus-Senftenberg. Die mit jeweils 5.000 Euro dotierten Max-Grünebaum-Preise 2016 werden an Dr.-Ing. Bert Kaiser und an Dr.-Ing. Andreas Wurm von der BTU Cottbus–Senftenberg für ihre herausragenden wissenschaftlichen Leistungen verliehen. Den Ernst-Frank-Förderpreis der BTU Cottbus-Senftenberg  und ein Stipendium für einen Studienaufenthalt in Großbritannien erhält in diesem Jahr Philipp Richter. 

Die ausführliche Pressemitteilung finden Sie hier.  

24.08.2016: Ausschreibung Promotionsstipendium

Ausschreibung eines Promotionsstipendiums im thematischen Cluster “Functional Materials and Film Systems for Efficient Energy Conversion (FuSion)” der BTU Graduiertenschule.

Thema: "Studies and optimization of thin film layer properties in high efficient electrostatic actuators"
Bewerbungsfrist: 04.10.2016

Auch weitere Stipendien sind im Rahmen des Clusters FuSion ausgeschrieben. Details finden Sie hier: weitere Informationen

11.12.2015: Pressemitteilung

Fraunhofer IPMS und BTU Cottbus-Senftenberg mit Beitrag über neues aktorisches Prinzip im Fachmagazin »Nature« 

Forscher des Fraunhofer-Instituts für Photonische Mikrosysteme IPMS und der Brandenburgischen Technischen Universität Cottbus-Senftenberg BTU stellen eine neuartige Klasse elektrostatischer Mikroaktoren in der aktuellen Ausgabe des Fachjournals »Nature Communications« vor. 

DOI: 10.1038/ncomms10078

In enger Zusammenarbeit zwischen dem Fraunhofer IPMS und der BTU wurde in 2012 die Projektgruppe Mesoskopische Aktoren und Systeme MESYS ins Leben gerufen. Seit drei Jahren entwickeln die Forscherinnen und Forscher neuartige elektrostatische Mikroaktoren – sogenannte nanoskopische elektrostatische Antriebe (engl. nanoscopic electrostatic drives, NED). Nun wurde dieser hochinteressante wissenschaftliche Ansatz erstmalig durch eine Publikation in »Nature Communications« der Öffentlichkeit vorgestellt. Prof. Dr. Harald Schenk, Institutsleiter des Fraunhofer IPMS und Professor für Mikro- und Nanosysteme an der BTU, zeigt sich hoch erfreut: »Wir sind überaus stolz über die Würdigung, unsere Ergebnisse in diesem renommierten Fachjournal publizieren zu können. Nach dreijähriger, grundlagenorientierter Forschung ist es uns gelungen ein völlig neuartiges aktorisches Prinzip nachzuweisen.« 

Die von MESYS entwickelte, CMOS-kompatible Aktorklasse löst fundamentale Probleme elektrostatischer Aktoren. Bisher war hier die Auslenkung aufgrund des sogenannten Pull-In-Effekts stark eingeschränkt und die Bewegung herkömmlicher Aktoren auf ca. 33 Prozent des Elektrodenabstandes begrenzt. Dieses Problem ist nun gelöst. »Durch geeignete Hebelmechanismen sind nun Auslenkungen erreichbar, die wesentlich größer als der Elektrodenabstand sind. Es können somit nanometerkleine Elektrodenabstände genutzt und dadurch die enormen Kräfte elektrostatischer Felder für die Aktorik zugängig gemacht werden«, erklärt Gruppenleiter Holger Conrad. 

Die patentierte Aktorklasse kann zukünftig die Leistungsfähigkeit von Mikrosystemen, wie beispielsweise kapazitive Ultraschallwandler, Mikrokippspiegel und Mikroventile stark verbessern. Außerdem eröffnet die Aktorklasse völlig neuartige Designlösungen für Mikrosysteme, wie z. B. Mikropumpen, MEMS-Lautsprecher oder Mikropositioniersysteme. »Unsere Vision ist die Entwicklung elektrostatischer Aktoren mit äußerst geringen Spaltabständen für hohe Auslenkungen bei moderaten Steuerspannungen. Wir wollen das entwickelte Prinzip zudem für eine Bewegung in der Chipebene weiterentwickeln und glauben, dass die neuen elektrostatischen Biegeaktoren perspektivisch auch piezoelektrische oder elektrostriktive Materialien ersetzen oder ergänzen können. Dies würde dann RoHS konforme Biegaktoren ermöglichen«, so Conrad abschließend.

Die Arbeiten der Projektgruppe MESYS mit Sitz an der BTU in Cottbus und am Fraunhofer IPMS in Dresden wird durch das Ministerium für Wissenschaft, Forschung und Kultur MWFK des Landes Brandenburg und durch das Bundesministerium für Bildung und Forschung BMBF (Förderkennzeichen: 16V0297) gefördert. 

Der Artikel ist am 11. Dezember erschienen und als Open Access unter folgender URL frei abrufbar: www.nature.com/ncomms/2015/151211/ncomms10078/full/ncomms10078.html

22.09.2015

Das Digitale-Holographie-Mikroskop (DHM) ist ein dynamisches 3D-Topographie-Messgerät. Es ist in der Lage, in real-time kleinste Bewegungen der gesamten Mikrostruktur auf einmal im Nanometer-Bereich zu messen. Daher ist es perfekt geeignet, mikromechanische Strukturen in der Entwicklung und Produktion zu charakterisieren.

Ein Video finden Sie hier.

In dieser Animation ist die vertikale Auslenkung einer solchen elektrostatisch angeregten MEMS-Struktur (Ausschnitt von etwa 200x60 µm² Größe) erkennbar, welche sich um etwa 100nm nach oben und unten auslenkt.

19.09.2015

In der Lausitzer Rundschau ist am 19.09.2015 ein Artikel über die Projektgruppe MESYS erschienen. Den vollständigen Zeitungsartikel "Arbeiten im Bereich von Nanometern" finden Sie hier