Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme

Der Technologietransfer findet in vielen Fällen in enger Zusammenarbeit mit dem Fraunhofer Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS) statt, das seit über 25 Jahren auf dem Gebiet der Erforschung von siliziumbasierten mikromechanischen und mikrophotonischen Systemen tätig ist. Kaum eine wachstumsstarke technische Branche kommt ohne mikrosystemtechnische Komponenten wie beispielsweise Sensoren oder Aktoren, aus. Aktuelle Trends wie das Internet of Things oder Industrie 4.0 eröffnen zahlreiche neue Anwendungsfelder mikromechanischer Komponenten, bei gleichzeitig steigenden Anforderungen hinsichtlich Leistungsfähigkeit, Miniaturisierung, Energieverbrauch, Integrierbarkeit und Zuverlässigkeit.

Die Wissenschaftler des Fraunhofer IPMS arbeiten sowohl an der Optimierung bestehender mikromechanischer Komponenten und deren Adaption für neue Anwendungen als auch an der Entwicklung und Erprobung völlig neuartiger Technologien, Mikro-(Opto)-Elektro-Mechanischer Systeme (MEMS und MOEMS) sowie Nano-Elektro-Mechanischer Systeme (NEMS). Das Leistungsspektrum deckt dabei die gesamte Entwicklungskette für CMOS-kompatible MEMS-Produkte und -Technologien ab, von der Konzeptionierung über die Prozessentwicklung, den Bau von Demonstratoren und Prototypen bis zur Pilotfertigung im hochmodernen Reinraum nach industriellen Standards.

Der Institutsteil »Integrated Silicon Systems« IPMS-ISS wurde Anfang 2018 in Cottbus gegründet und dient als Schnittstelle zwischen der BTU Cottbus-Senftenberg und dem Fraunhofer IPMS.