Im Rahmen der Übung haben die Studierenden die Gelegenheit, das in der Vorlesung Erlernte in der Praxis anzuwenden und zu vertiefen. Die Übung findet als Praktikum vor Ort am Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik in der vorlesungsfreien Zeit statt. Bearbeitet wird ein aktuelles Teilthema aus der Forschung des IHP unter Mitwirkung in einem Projektteam und fachlicher Anleitung. Die gestellten Aufgaben befassen sich mit Fragestellungen aus den Bereichen Prozesstechnologie, der Charakterisierung von Bauelementen und Teststrukturen sowie von Halbleitermaterialien. Die Tätigkeiten werden unter Verwendung modernster Laborausrüstung und Räumlichkeiten durchgeführt. Am Ende werden die Ergebnisse im Rahmen eines kurzen Abschlusskolloquiums vorgestellt.

Das Praktikum kann einen Ausgangspunkt für ein anschließendes längeres Praktikum oder für eine Abschlussarbeit darstellen.

Vorlesung: 2 SWS

Leistungspunkte: 3