11589 - Halbleitertechnologie Modulübersicht

Modulnummer: 11589 - Auslaufmodul
Modultitel:Halbleitertechnologie
  Semiconductor Technology
Einrichtung: Fakultät 1 - MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik
Verantwortlich:
  • Prof. Dr.-Ing. Kahmen, Gerhard
Lehr- und Prüfungssprache:Deutsch
Dauer:1 Semester
Angebotsturnus: sporadisch nach Ankündigung
Leistungspunkte: 6
Lernziele:Die Studierenden beherrschen die Grundlagen der Halbleitertechnologie hinsichtlich physikalischer und technologischer Zusammenhänge. Sie sind in der Lage die Technologieführung zur Fertigung von modernen Halbleiterbauelementen anhand deren physikalischen Aufbau und Funktionsprinzipien zu verstehen. Der Überblick über die Fertigungsverfahren und die technologisch-physikalischen Zusammenhänge ermöglicht den Studierenden eine Bewertung von Halbleitertechnologien hinsichtlich der Eignung für deren Anwendung z.B. in elektronischen Schaltungen. Die zur Vorlesung angebotene Übung ermöglicht den Studierenden durch konkrete und aktuelle Aufgabenstellungen aus der Halbleitertechnologie das erlernte Wissen zu vertiefen und einzusetzen. In diesem Zusammenhang wird Teamarbeit vermittelt und Einblicke in die Arbeitsweise eines führenden Forschungsinstituts gegeben.
Inhalte:
  • Überblick über die Entwicklung und den Markt der Halbleitertechnologie
  • Grundgrößen und Zusammenhänge der Halbleiterphysik
  • Exemplarische Bauelemente auf ICs (Passives, Diode, Bipolar-Transistor, MOS-FET)
  • Si-Kristallgitter, Kristallzucht, Waferherstellung, Verunreinigung des Si-Basismaterials
  • Oxidation
  • Dotierung durch Diffusion und Implantation
  • Epitaktisches Wachstum von kristallinen Si(Ge) Schichten auf dem Substrat
  • Strukturierung durch Lithographie, Ätzverfahren
  • Reinigungs- und Planarisierungstechniken
  • Si-on-Insulator (SOI)
  • Ausblick in zukünftige Halbleitertechnologien
Empfohlene Voraussetzungen:
  • Kenntnisse der Halbleiterphysik im Rahmen eines Bachelor-Abschlusses in Physik, insbesondere kenntnisse des Stoffes aus Modul 11868: Allgemeine Physik IV (Festkörperphysik)
  • Kenntnisse über Funktionsweise und Aufbau elektronischer Bauelemente, etwa Kenntnis des Stoffes von Modul 12364: Elektronische Bauelemente und Grundschaltungen
Zwingende Voraussetzungen:keine
Lehrformen und Arbeitsumfang:
  • Vorlesung / 2 SWS
  • Übung / 2 SWS
  • Selbststudium / 120 Stunden
Unterrichtsmaterialien und Literaturhinweise:Werden in der Vorlesung bekannt gegeben.
Modulprüfung:Voraussetzung + Modulabschlussprüfung (MAP)
Prüfungsleistung/en für Modulprüfung:Voraussetzung für die Modulabschlussprüfung:
  • erfolgreiches Bearbeiten einer Projektaufgabe inklusive eines Abschlussreferates
Modulabschlussprüfung:
  • mündliche Prüfung, 30-45 min.
Bewertung der Modulprüfung:Prüfungsleistung - benotet
Teilnehmerbeschränkung:keine
Zuordnung zu Studiengängen:
  • M.Sc. / Elektrotechnik (universitäres Profil) / Prüfungsordnung 2019
  • M.Sc. / Informatik (universitäres Profil) / Prüfungsordnung 2008 - 2. SÄ 2017
  • M.Sc. / Materialchemie (universitäres Profil) / Prüfungsordnung 2018
  • Abschluss im Ausland / Physik / keine Prüfungsordnung
  • M.Sc. / Physik (universitäres Profil) / Prüfungsordnung 2018
Bemerkungen:

Bei Bedarf kann das Modul in englischer Sprache angeboten werden.

  • Studiengang Physik M.Sc.: Wahlpflichtmodul im Komplex „Experimentelle/Angewandte Physik“
  • Studiengang Elektrotechnik M.Sc.: Wahlpflichtmodul im Komplex „Elektrotechnik“ in den Studienrichtungen „Informationstechnik“ und „Automatisierungstechnik“
  • Studiengang Informatik M.Sc.: Wahlpflichtmodul im Anwendungsfach „Maschinenbau/Elektrotechnik“
  • Studiengang Informations- und Medientechnik M. Sc.: Wahlpflichtmodul im Komplex „Zuverlässige HW/SW-Systeme“
Veranstaltungen zum Modul:
  • Vorlesung Halbleitertechnologie:
    Die Vorlesung wird teilweise als Blockvorlesung am Leibniz Institut für Innovative Mikroelektronik (IHP) in Frankfurt (Oder) durchgeführt, um den Studierenden praktische Einblicke in eine moderne Halbleitertechnologie zu geben. Der Vorlesungsblock am IHP findet in der vorlesungsfreuen Zeit statt.
  • Übung Halbleitertechnologie:
    Die Übung wird als Blockveranstaltung während der vorlesungsfreien Zeit am IHP in Frankfurt (Oder) stattfinden.
  • Zugehörige Prüfung
Veranstaltungen im aktuellen Semester:
Nachfolgemodul/e: Auslaufmodul ab: 21.01.2020

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