13330 - Physik und Analytik dünner Schichten Modulübersicht

Modulnummer: 13330 - Modul nicht mehr im Angebot ab SS 2010
Modultitel:Physik und Analytik dünner Schichten
  Physics and Analysis of Thin Films
Einrichtung: Fakultät 1 - Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik
Verantwortlich:
  • Prof. Dr. rer. nat. habil. Reif, Jürgen
Lehr- und Prüfungssprache:Deutsch
Dauer:1 Semester
Angebotsturnus: sporadisch nach Ankündigung
Leistungspunkte: 4
Lernziele:Beschreibung von makroskopischen Flüssigkeitsmustern, Grundgleichungen und vereinfachte Modelle
Inhalte:Inhalt/Contents:
1. Vakuum, Plasma und Beschichtungstechniken (PVD, CVD, Sputtern, PLD, MBE u. a.)
2. Strukturuntersuchungstechniken (TEM, REM, XRD, Textur, XRR, HRXRD, RBS u.a.)
3. Optische und elektrische Untersuchungstechniken (Ellipsometrie, van der Pauw, Hall u.a.)
4. Schichtanwendungen: Schutzschichten, Hartstoffschichten, dekorative DS, Mikroelektronik u. a.
Empfohlene Voraussetzungen:Vordiplom, BSC
Zwingende Voraussetzungen:keine
Lehrformen und Arbeitsumfang:
  • Vorlesung / 2 SWS
  • Selbststudium / 90 Stunden
Unterrichtsmaterialien und Literaturhinweise:Milton Ohring: Materials Science of Thin Films, Academic Press, 2002
Mario Birkholz: Thin Film Analysis by X-ray Scattering, Wiley-VCH, 2005
Modulprüfung:Keine Angabe - Angabe ab Wintersemester 2016/17 erforderlich!
Prüfungsleistung/en für Modulprüfung:Mündliche Prüfung
Bewertung der Modulprüfung:Prüfungsleistung - benotet
Teilnehmerbeschränkung:keine
Zuordnung zu Studiengängen:
  • keine Zuordnung vorhanden
Bemerkungen:keine
Veranstaltungen zum Modul:keine
Veranstaltungen im aktuellen Semester:
  • keine Zuordnung vorhanden
Nachfolgemodul/e: Auslaufmodul ab: 04.10.2010