Forschung

Forschungsprofil

  • Basistechnologien der Halbleiter- und Mikroelektronik
    • CMOS-, Bipolar-, BiCMOS- und MEMS-Technologien
  • Entwurf und Fertigung elektronischer Baugruppen
    • CAD / CAD auf Basis von PADS (Menthor Graphics) und Fertigung von Leiterplatten
  • Photovoltaik
    • Werkstoffe, Zellkonzepte, Module und Anlagen)
  • Halbleitermesstechnik und Prozessdiagnistik
    • optische Messtechnik (Interferometrie), Rasterelektronenmikroskopie, HF-CV, DLTS, VSM
  • Aufbau- und Verbindungstechnik / Kontakte
    • Kontaktwerkstoffe, Modelle, Simulation, Statistik
  • Theoretische Elektrotechnik
    • E-, H-, (ExH)-Feld, physikalische Effekte, Berechnung und Darstellung (Maple)