Physik am Freitag: Ein Streifzug durch die Welt der MEMS

Ein Streifzug durch die Welt der MEMS

Prof. Dr. Dr. Harald Schenk, BTU Cottbus

Beschreibung: MEMS - Mikro Elektro Mechanische Systeme - sind in Silizium hergestellte Sensoren und Aktoren, bei denen die feinsten Elemente mit Genauigkeiten von besser als 100 nm hergestellt werden. Jeder, der ein Handy, ein Auto oder einen Fitnesstracker besitzt, nutzt unbewusst die Funktionen einer Vielzahl solcher MEMS-Bauelemente. Sie messen auf kleinstem Bauraum Beschleunigungen, dienen als Mikrofon oder arbeiten als Kompass. Was sind aber MEMS genau, wie werden Sie teilweise millionenfach hergestellt, wie funktionieren sie und wo sind Sie bereits überall zu finden? Der Vortrag stellt die MEMS-Technologie verständlich dar, geht auf die wichtigsten physikalischen aktorischen und sensorischen Prinzipien ein und erläutert insbesondere wichtige und interessante Anwendungen vom Consumerbereich über Automotive bis zur Medizin.