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Modulnummer:
| 12170
- Modul nicht mehr im Angebot ab SS 2022 |
| Modultitel: | Mikrosystemtechnik |
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Micro Systems
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| Einrichtung: |
Fakultät 1 - MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik
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| Verantwortlich: | -
Prof. Dr.-Ing. Dr. rer. nat. habil. Schenk, Harald
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| Lehr- und Prüfungssprache: | Deutsch |
| Dauer: | 1 Semester |
| Angebotsturnus: |
jedes Wintersemester
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| Leistungspunkte: |
6
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| Lernziele: | Die Studierenden beherrschen die Grundlagen der siliziumbasierten Mikrosystemtechnik. Am Beispiel der Thematik des Moduls werden die Methoden des Erkenntnisgewinns und deren exemplarischer Anwendung aufgezeigt. Darüber hinaus werden bei den Studierenden Sozialkompetenzen wie Kooperationsfähigkeit, sowie weitere individuelle Kompetenzen wie Sorgfalt, Ausdauer, Neugierde, Eigeninitiative, Frustrationstoleranz etc. gefördert. |
| Inhalte: | - Einführung in die Siliziumtechnologie:
Materialien, Schichtabscheidung und -strukturierung, Oberflächen- und Volumenmikromechanik, Überblick zur Anlagentechnik - Physikalische Wirkprinzipien:
Grundlegende physikalische Wirkprinzipien anhand von einfachen Sensoren und Aktoren (z. B. elektrostatische, piezoelektrische, magnetische Effekte) - Entwurf komplexer Sensoren und Aktoren:
Überblick zu Systematik und Methodik, einfache Simulationsbeispiele für die Berechnung dynamischer Eigenschaften von MEMS-Sensoren - Funktionen und Eigenschaften komplexer Sensoren und Aktoren:
z. B. Lichtmodulatoren, Beschleunigungssensoren, Gyroskope, Scannerspiegel
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| Empfohlene Voraussetzungen: | Kenntnisse der Festkörperphysik im Rahmen eines Bachelor-Studiengangs Physik |
| Zwingende Voraussetzungen: | keine |
| Lehrformen und Arbeitsumfang: | -
Vorlesung
/ 2 SWS
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Übung
/ 1 SWS
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Selbststudium
/ 135 Stunden
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| Unterrichtsmaterialien und Literaturhinweise: | - M. Madou, "Fundamentals of Microfabrication„, CRC Press , Boca Raton-NewYork (2002)
- Gianchandani, Yogesh B.; Tabata, Osamu; Zappe, Hans P.: „Comprehensive Microsystems“, Vol. 1-3, Elsevier, Amsterdam (2008)
Eine ausführliche Literaturliste wird im Rahmen der Vorlesung verteilt. |
| Modulprüfung: | Voraussetzung + Modulabschlussprüfung (MAP) |
| Prüfungsleistung/en für Modulprüfung: | Voraussetzung für die Modulabschlussprüfung:
- erfolgreiches Halten eines Referats (mit schriftlicher Ausarbeitung)
Modulabschlussprüfung:
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| Bewertung der Modulprüfung: | Prüfungsleistung - benotet |
| Teilnehmerbeschränkung: | keine |
| Zuordnung zu Studiengängen: | - keine Zuordnung vorhanden
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| Bemerkungen: | - Studiengang Physik M.Sc.: Wahlpflichtmodul im Komplex „Experimentelle/Angewandte Physik“
Das Selbstudium setzt sich zusammen aus:
- Nacharbeiten der Vorlesung
- selbstständiges Erarbeiten englischsprachiger Fachliteratur
- Referat
Bei Bedarf in englischer Sprache. |
| Veranstaltungen zum Modul: | - Vorlesung: Mikrosystemtechnik
- Begleitende Übung
- Zugehörige Prüfung
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| Veranstaltungen im aktuellen Semester: | - keine Zuordnung vorhanden
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| Nachfolgemodul/e: |
Auslaufmodul ab: 21.01.2020
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