13330 - Physik und Analytik dünner Schichten Modulübersicht
Modulnummer: | 13330 - Modul nicht mehr im Angebot ab SS 2010 |
Modultitel: | Physik und Analytik dünner Schichten |
Physics and Analysis of Thin Films | |
Einrichtung: | Fakultät 1 - Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik |
Verantwortlich: |
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Lehr- und Prüfungssprache: | Deutsch |
Dauer: | 1 Semester |
Angebotsturnus: | sporadisch nach Ankündigung |
Leistungspunkte: | 4 |
Lernziele: | Beschreibung von makroskopischen Flüssigkeitsmustern, Grundgleichungen und vereinfachte Modelle |
Inhalte: | Inhalt/Contents: 1. Vakuum, Plasma und Beschichtungstechniken (PVD, CVD, Sputtern, PLD, MBE u. a.) 2. Strukturuntersuchungstechniken (TEM, REM, XRD, Textur, XRR, HRXRD, RBS u.a.) 3. Optische und elektrische Untersuchungstechniken (Ellipsometrie, van der Pauw, Hall u.a.) 4. Schichtanwendungen: Schutzschichten, Hartstoffschichten, dekorative DS, Mikroelektronik u. a. |
Empfohlene Voraussetzungen: | Vordiplom, BSC |
Zwingende Voraussetzungen: | keine |
Lehrformen und Arbeitsumfang: |
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Unterrichtsmaterialien und Literaturhinweise: | Milton Ohring: Materials Science of Thin Films, Academic Press, 2002 Mario Birkholz: Thin Film Analysis by X-ray Scattering, Wiley-VCH, 2005 |
Modulprüfung: | Keine Angabe - Angabe ab Wintersemester 2016/17 erforderlich! |
Prüfungsleistung/en für Modulprüfung: | Mündliche Prüfung |
Bewertung der Modulprüfung: | Prüfungsleistung - benotet |
Teilnehmerbeschränkung: | keine |
Zuordnung zu Studiengängen: |
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Bemerkungen: | keine |
Veranstaltungen zum Modul: | keine |
Veranstaltungen im aktuellen Semester: |
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Nachfolgemodul/e: | Auslaufmodul ab: 04.10.2010 |