13415 - Mikrosystemtechnik Modulübersicht

Modulnummer: 13415 - Modul nicht mehr im Angebot ab SS 2019
Modultitel:Mikrosystemtechnik
  Micro Systems
Einrichtung: Fakultät 1 - MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik
Verantwortlich:
  • Prof. Dr.-Ing. Dr. rer. nat. habil. Schenk, Harald
Lehr- und Prüfungssprache:Deutsch
Dauer:1 Semester
Angebotsturnus: jedes Wintersemester
Leistungspunkte: 4
Lernziele:Die Studierenden beherrschen die Grundlagen der siliziumbasierten Mikrosystemtechnik. Am Beispiel der Thematik des Moduls werden die Methoden des Erkenntnisgewinns und deren exemplarischer Anwendung aufgezeigt. Darüber hinaus werden bei den Studierenden Sozialkompetenzen wie Kooperationsfähigkeit, sowie weitere individuelle Kompetenzen wie Sorgfalt, Ausdauer, Neugierde, Eigeninitiative, Frustrationstoleranz etc. gefördert.
Inhalte:
  • Einführung in die Siliziumtechnologie:
    Materialien, Schichtabscheidung und -strukturierung, Oberflächen- und Volumenmikromechanik, Überblick zur Anlagentechnik;
  • Physikalische Wirkprinzipien:
    Grundlegende physikalische Wirkprinzipien anhand von einfachen Sensoren und Aktoren (z. B. elektrostatische, piezoelektrische, magnetische Effekte)
  • Entwurf komplexer Sensoren und Aktoren:
    Überblick zu Systematik und Methodik, Prinzip der Finite-Elemente-Methode;
  • Funktionen und Eigenschaften komplexer Sensoren und Aktoren:
    z. B. Lichtmodulatoren, Beschleunigungssensoren, Gyroskope, Scannerspiegel
Empfohlene Voraussetzungen:Kenntnisse der Festkörperphysik im Rahmen eines Bachelor-Studiengangs Physik
Zwingende Voraussetzungen:keine
Lehrformen und Arbeitsumfang:
  • Vorlesung / 2 SWS
  • Selbststudium / 90 Stunden
Unterrichtsmaterialien und Literaturhinweise:
  • M. Madou, "Fundamentals of Microfabrication„, CRC Press , Boca Raton-NewYork (2002)
  • Gianchandani, Yogesh B.; Tabata, Osamu; Zappe, Hans P.: „Comprehensive Microsystems“, Vol. 1-3, Elsevier, Amsterdam (2008)
Eine ausführliche Literaturliste wird im Rahmen der Vorlesung verteilt.
Modulprüfung:Voraussetzung + Modulabschlussprüfung (MAP)
Prüfungsleistung/en für Modulprüfung:Voraussetzung für die Modulabschlussprüfung:
  • erfolgreiches Halten eines Referats (mit schriftlicher Ausarbeitung)
Modulabschlussprüfung:
  • Klausur, 90 min.
Bewertung der Modulprüfung:Prüfungsleistung - benotet
Teilnehmerbeschränkung:keine
Zuordnung zu Studiengängen:
  • keine Zuordnung vorhanden
Bemerkungen:Das Selbstudium setzt sich zusammen aus:
  • Nacharbeiten der Vorlesung
  • selbstständiges Erarbeiten englischsprachiger Fachliteratur
  • Referat
Die Vorlesung wird gehalten von Dr.-Ing. Harald Schenk (Fraunhofer Institut Photonische Mikrosysteme, Dresden). Bei Bedarf in englischer Sprache.
  • Studiengang Physik M. Sc.: Wahlpflichtmodul im Vertiefungsfach "Angewandte Physik".
Veranstaltungen zum Modul:
  • Vorlesung Einführung in die siliziumbasierte Mikrosystemtechnik
  • Übung Einführung in die siliziumbasierte Mikrosystemtechnik
  • Prüfung Einführung in die siliziumbasierte Mikrosystemtechnik
Veranstaltungen im aktuellen Semester:
  • keine Zuordnung vorhanden
Nachfolgemodul/e: Auslaufmodul ab: 09.06.2017