36437 - Mikrofertigungstechnik II Modulübersicht
| Modulnummer: | 36437 - Modul nicht mehr im Angebot ab SS 2010 |
| Modultitel: | Mikrofertigungstechnik II |
| Microproduction Technology II | |
| Einrichtung: | Fakultät 3 - Maschinenbau, Elektrotechnik und Wirtschaftsingenieurwesen |
| Verantwortlich: |
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| Lehr- und Prüfungssprache: | Deutsch |
| Dauer: | 1 Semester |
| Angebotsturnus: | jedes Sommersemester |
| Leistungspunkte: | 6 |
| Lernziele: | Fertigungsverfahren in der Mikrosystemtechnik; Stand der Techniken; Entwicklungen; wissenschaftliche Experimente |
| Inhalte: | In der Mikrosystemtechnik verwendete Fertigungsverfahren; Reinraumtechniken; Kristalle; Halbleitertechnologien; Beschichtungstechniken (Bedampfen, Sputtern, CVD); Si-Bulk-Mikromechanik; Oberflächenmikromechanik; Lithografie, Dotierung (Diffusion, Ionenimplantation); Micro-Blasting Weitere Informationen: http://www.tu-cottbus.de/MST/mstLehre/LVIndex.htm |
| Empfohlene Voraussetzungen: | Absolviertes Grundstudium |
| Zwingende Voraussetzungen: | keine |
| Lehrformen und Arbeitsumfang: |
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| Unterrichtsmaterialien und Literaturhinweise: | Modulspezifische Lehrstuhlumdrucke; W. Krause: Fertigung in der Feinwerk- und Mikrotechnik / U. Mescheder: Mikrosystemtechnik / R. Brück, N. Rizvi, A. Schmidt: Angewandte Mikrotechnik / W. Menz, J. Mohr: Mikrosystemtechnik für Ingenieure / G. Gerlach, W. Dötzel: Grundlagen der Mikro-systemtechnik / H. Eigler: Entwurf signalverarbeitender Mikrosysteme; Aktuelle Beispiele aus Zeitschriften wie: „VTE“, „Elektronik“, „F&M“ |
| Modulprüfung: | Keine Angabe - Angabe ab Wintersemester 2016/17 erforderlich! |
| Prüfungsleistung/en für Modulprüfung: | Erfolgreiche Teilnahme an allen Übungs/Praktikakomplexen ist Pflicht. (Testate, Protokolle mindestens Note 4) Die Prüfungsleistung besteht aus folgenden Teilleistungen: - ein Testat (10 min) je Komplex (15% -Anteil) - ein Versuchsprotokoll je Komplex als Bericht (15% -Anteil) - mündliche Prüfung (30 min) oder schriftliche Prüfung (90 min) (70%-Anteil) |
| Bewertung der Modulprüfung: | Prüfungsleistung - benotet |
| Teilnehmerbeschränkung: | keine |
| Zuordnung zu Studiengängen: |
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| Bemerkungen: | keine |
| Veranstaltungen zum Modul: | keine |
| Veranstaltungen im aktuellen Semester: |
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