Feierliche Eröffnung Fraunhofer IPMS-ISS

2012 in enger Zusammenarbeit zwischen dem Fraunhofer IPMS und der BTU Cottbus-Senftenberg gegründet, entwickelte die Fraunhofer-Projektgruppe Mesoskopische Aktoren und Systeme MESYSeine neue Klasse elektrostatischer Biegewandler an den Standorten in Dresden und Cottbus. Waren die Anfänge hauptsächlich durch die Forschung und Entwicklung sowie Erprobung der sogenannten nanoskopischen elektrostatischen Antriebe (engl. nanoscopic electrostatic drives, NED) geprägt, stand in der Endphase deren Einsatz in den Anwendungsgebieten Mikroakustik und Mikrofluidik im Vordergrund. Die von MESYS entwickelte und bereits patentierte neue Aktorklasse ist CMOS-kompatibel und löst fundamentale Probleme elektrostatischer Aktoren. Aufgrund der potenziell hohen Anzahl möglicher Einsatzgebiete und der möglichen technologischen Umsetzungsvarianten sollte MESYS nun zu einem Geschäftsfeld ausgebaut werden. Nach der erfolgreichen Evaluierung der Projektgruppe durch Gutachter im September 2017 und der Bestätigung des Bund-Länder-Ausschusses der Fraunhofer-Gesellschaft im November 2017, war der Weg dafür geebnet. Zum 1. Januar 2018 ist das neue Geschäftsfeld »Monolithisch integrierte Aktor- und Sensorsysteme« (MAS) gegründet worden, das nun in Cottbus am ebenfalls neu gegründeten Institutsteil  »Integrated Silicon Systems« (ISS)des Fraunhofer IPMS aktiv ist. Neben dem neuen Geschäftsfeld MAS werden Terahertz-Mikromodule und -Applikationen ein weiterer Forschungsschwerpunkt am Fraunhofer IPMS-ISS sein.

Die Arbeiten der Fraunhofer-Projektgruppe MESYS wurden durch das Ministerium für Wissenschaft, Forschung und Kultur MWFK des Landes Brandenburg und durch die BTU Cottbus-Senftenberg gefördert.