Forschung
Aktuelle Projekte
Titel: „Flip-Chip-Technologie"
Zeitraum: ab 2002
Keyword: Flip-Chip, Lehrmodul, BGA-Technik, COB
Partner: Infineon, Chip Academy Dresden
Kurzbeschreibung: Es wird ein Lehr- und Testmodul, bestehend aus einer Leiterplatte und einem mittels speziell entwickelter Ball-Grid-Array-Technik (BGA) kontaktierter Si-Chip entwickelt, getestet und zum Einsatz gebracht.
Ergebnisse: Entwicklung des Chips, des Chipträgers und der Montagetechnologie sind weitgehend abgeschlossen. Erprobung 2004, zweite Entwicklungsstufe 2006
Titel: „Selfpositioning Mesa-Etch"
Zeitraum: ab 2005
Keyword: Mesa-Etch, Au-Maskierung, Schottky- Kontakt, Metall-Halbleiter-Kontakt, Thermoresist, Metall-Resist
Partner: IHP/BTU-Joint Lab
Ergebnisse: Entwicklung eigenständiger Methoden zur Präparation von Mesa-Strukturen zur Anwendung bei EPIC- und DLTS-Messungen an Silicium. Die Lithographie wird mittels Thermoresist oder selbstjustierender Au-Maske durchgeführt.
Titel: „BioResponse - Partikeldiagnostik A"
(siehe extra Homepage „BioResponse")
Zeitraum: ab 2005
Keyword: Mikroplot, PMMA, Fluoreszenz, iCyte
Partner: Netzwerk Wachstumskerne - Bioresponse
Ergebnisse: Entwicklung und Einsatzerprobung Farbstoff-codierter PMMA-Partikel sowie deren Charakterisierung.