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Fakultät 1
Fachgebiet Halbleitertechnologie Prof. Dr.-Ing. Gerhard Kahmen

Semesterübersicht

13009Halbleitertechnologie       WiSe 2026
Mittwoch, 14.10.202613:45 - 15:15 UhrIntroduction into the Semiconductor Technology Lecture 

Historical development, production  and economics of microelectronics 		max. 15 PersonenDr. Y. YamamotoHG 0.17
Mittwoch, 28.10.202613:45 - 15:15 UhrFundamentals of semiconductor physics and operation of  key devices of integrated circuitsmax. 15 PersonenProf. Dr. G. KahmenHG 0.17
Mittwoch, 04.11.202613:45 - 15:15 UhrMetallization

Lithography		max. 15 PersonenDr. D. Wolansky

P. Kulse		HG 0.17
Mittwoch, 11.11.202613:45 - 15:15 UhrFundamentals of semiconductor physics and operation of  key devices of integrated circuits (cont.)

Physics and Production of silicon base material		max. 15 PersonenProf. Dr. G. KahmenHG 0.17
Mittwoch, 18.11.202613:45 - 15:15 UhrPhysics and Production of silicon base material (cont.)

Introduction to Silicon planar technology		max. 15 PersonenDr. Y. YamamotoHG 0.17
Mittwoch, 25.11.202613:45 - 15:15 UhrReactive to etching

Chemical mechanical polishing		max. 15 PersonenDr. S. Mehl

A. Adesunkanmi		HG 0.17
Mittwoch, 02.12.202613:45 - 15:15 UhrLow Pressure Chemical Vapor Deposition (LP-CVD)

Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PE CVD)		max. 15 PersonenDr. Y. YamamotoHG 0.17
Mittwoch, 09.12.202613:45 - 15:15 UhrProzesscontrol / Metrologymax. 15 PersonenDr. O. FursenkoHG 0.17
Mittwoch, 16.12.202613:45 - 15:15 UhrDoping

Epitaxy		max. 15 PersonenDr. Y. YamamotoHG 0.17
Mittwoch, 06.01.202713:45 - 16:45 UhrDiagnosticmax. 15 PersonenDr. I CostinaHG 0.17
Mittwoch, 13.01.202713:45 - 15:15 UhrYield, reliability, technology qualification max. 15 PersonenDr. G. FischerHG 0.17
Mittwoch, 20.01.202713:45 - 15:15 UhrTechnology trends

MtM technology developments		max. 15 PersonenC. MaiHG 0.17
Mittwoch, 27.01.202713:45 - 15:15 UhrExcursion to IHP, Frankfurt (Oder)max. 15 PersonenProf. Dr. G. Kahmen

(Dr. Y. Yamamoto)		IHP

Nähere Informationen erhalten Sie direkt durch Herrn Prof. Dr. G. Kahmen.