BTU auf einen Blick
Fakultät 1
Fachgebiet Halbleitertechnologie Prof. Dr.-Ing. Gerhard Kahmen

Semesterübersicht

14442 VorlesungHalbleitertechnologie WS 2025/26
Mittwoch, 15.10.202513:45 - 15:15 UhrIntroduction into the Semiconductor Technology Lecture 
Historical development, production  and economics of microelectronics 		max. 15 PersonenProf. Dr. A. MaiHG 0.20
Mittwoch, 22.10.202513:45 - 15:15 UhrFundamentals of semiconductor physics and operation of  key devices of integrated circuitsmax. 15 PersonenProf. Dr. G. KahmenHG 0.20
Mittwoch, 29.10.202513:45 - 15:15 UhrReactive io etching
Metallization		max. 15 PersonenDr. S. Marschmeyer
Dr. D. Wolansky		HG 0.20
Mittwoch, 05.11.202513:45 - 15:15 UhrPhysics and Production of silicon base material (cont.)
Introduction to Silicon planar technology		max. 15 PersonenProf. Dr. G. KahmenHG 0.20
Mittwoch, 12.11.202513:45 - 15:15 UhrFundamentals of semiconductor physics and operation of  key devices of integrated circuits (cont.)
Physics and Production of silicon base material		max. 15 PersonenProf. Dr. G. KahmenHG 0.20
Mittwoch, 19.11.202513:45 - 15:15 UhrChemical mechanical polishing
Lithography		max. 15 PersonenA. Adesunkanmi
P. Kulse		HG 0.20
Mittwoch, 26.11.202513:45 - 15:15 UhrLow Pressure Chemical Vapor Deposition (LP-CVD)
Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PE CVD)		max. 15 PersonenDr. Y. YamamotoHG 0.20
Mittwoch, 03.12.202513:45 - 15:15 UhrProzesscontrol / Metrologymax. 15 PersonenDr. O. FursenkoHG 0.20
Mittwoch, 10.12.202513:45 - 15:15 UhrDoping
Epitaxy		max. 15 PersonenDr. Y. YamamotoHG 0.20
Mittwoch, 17.12.202513:45 - 15:15 UhrDiagnosticmax. 15 PersonenDr. I. CostinaHG 0.20
Mittwoch, 07.01.202613:45 - 15:15 UhrYield, reliability, technology qualification max. 15 PersonenDr. G. FischerHG 0.20
Mittwoch, 14.01.202613:45 - 15:15 UhrTechnology trends
MtM technology developments (am IHP)		max. 15 PersonenProf. Dr. A. MaiHG 0.20
Mittwoch, 21.01.202613:45 - 15:15 UhrExcursion to IHP, Frankfurt (Oder)max. 15 PersonenProf. Dr. G. Kahmen
Dr. Y. Yamamoto		IHP

Nähere Informationen erhalten Sie direkt durch Herrn Prof. Dr. G. Kahmen.