Fachgebiet
Angewandte Physik/Sensorik
Prof. Dr. rer. nat. habil. Dieter Schmeißer
Vakuumanlage zur CVD von SiC-Schichten
Ansicht von vorn
Ansicht von hinten
Gaseinlass
Probenhalter
Vakuumanlage zur Oberflächenbehandlung von Si-Schichten
Glove-Box zur Herstellung von organischen Schichten unter sauerstofffreien Bedingungen
Foto: Karsten Henkel
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