BTU auf einen Blick
Fakultät 1
Fachgebiet Angewandte Physik und Halbleiterspektroskopie Prof. Dr. rer. nat. habil. Jan Ingo Flege

Veröffentlichung publiziert

Eine gemeinsame Veröffentlichung mit Autoren der Firma SENTECH Instruments GmbH wurde in der Zeitschrift 'Journal of Vacuum Science and Technology A' publiziert und von den Editoren der Zeitschrift als »Editor's Pick« ausgewählt.

A. Mahmoodinezhad, C. Janowitz, F. Naumann, P. Plate, H. Gargouri, K. Henkel, D. Schmeißer, J. I. Flege
Low-temperature growth of gallium oxide thin films by plasma-enhanced atomic layer deposition
Journal of Vacuum Science and Technology A 38 (2020) 022404
Online (DOI)
This article may be downloaded here for personal use only. Any other use requires prior permission of the author and AIP Publishing.

Kontakt

Ali Mahmoodinezhad
Angewandte Physik und Halbleiterspektroskopie
T +49 (0) 355 69-5355
Ali.Mahmoodinezhad(at)b-tu.de

Dr.-Ing. Karsten Henkel
Angewandte Physik und Halbleiterspektroskopie
T +49 (0) 355 69-5354
karsten.henkel(at)b-tu.de
Zurück