Fachgebiet
Angewandte Physik/Sensorik
Prof. Dr. rer. nat. habil. Dieter Schmeißer
Beschichtungseinrichtungen für Sensoren (Airbrush, Spin Coating, Plotten)
Abb. 1.: Beschichtung von Schwingquarzen mittels Airbrush-Pistole.
Abb. 2.: Die Frequenzänderung des Schwingquarzes kann bei der Beschichtung online verfolgt werden.
Abb. 3.: Spin Coating: Spin Coater MLW T5 mit regelbarer Umdrehungszahl bis 10 000/ min.
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