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Das Fachgebiet Mikro- und Nanosysteme beschäftigt sich mit der Erforschung und Entwicklung von siliziumbasierten MEMS-Bauelementen und darauf aufbauender Systeme.
Die inhaltlichen Arbeiten werden in enger Kooperation mit dem Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS durchgeführt. Dort stehen insbesondere hochmoderne Prozesse zur Herstellung von mikro- und nanoskalierten Aktoren und Sensoren zur Verfügung.