Source Measurement Unit

Die SMU der Serie B2900A von Keysight haben eine breite Spannungs- (210 V) und Strom- (3 A dc und 10,5 A gepulst) Sourcing-Fähigkeit, ausgezeichnete Präzision (mindestens 10 fA/100 nV Sourcing- und Messauflösung) und verfügen über eine überlegene grafische Farb-LCD Benutzeroberfläche. Zusätzlich verbessern mehrere aufgabenorientierte Anzeigemodi die Produktivität erheblich für Prüfung, Debugging und Kennzeichnung. Die B2900A bietet ausgezeichneten Messungs-Durchsatz und unterstützt den konventionellen SMU SCPI-Befehlssatz für einfache Testcode-Migration. Diese Funktionen erhöhen die Produktivität beim Testen und senken die Betriebskosten bei der Integration der SMU in Systeme für Produktionstests. B2900A Messgeräte sind besonders geeignet für Fertigungsprüfungen von Bauteilen (z. B. LEDs, Solarmodule) und werden häufig bei IV-Tests der Herstellung von elektronischen Modulen und Untersystemen eingesetzt. Die Serie B2900A besteht aus vier Modellen: B2901A (888-2355); B2902A (888-2358), B2911A (888-2352) und B2912A (888-2361); sie unterscheiden sich in ihren Messspezifikationen und in der von der Anzahl der jeweils unterstützten SMU Kanäle (1 oder 2). Dies erleichtert die Auswahl der besten Preis/Leistungs-Option für die spezifischen Prüfungsanforderungen des jeweiligen Benutzers.

  • Unterstützt Ein-Kanal Konfiguration
  • Mindest-Quellenauflösung 1 pA/1 μV, Mindest-Messauflösung 100 fA/100 nV
  • Maximale Ausgangsleistung: 210 V, 3 A dc/10,5 A Impuls
  • Arbiträrsignalgenerations- und Digitalisierungsfähigkeiten ab 20 μs-Intervall
  • Integrierte 4-Quadranten-Quell- und Messmöglichkeiten
  • 4,3-Zoll-Farbdisplay unterstützt grafische und numerische Anzeigemodi
  • Anwendungssoftware zur Vereinfachung der PC-basierten Gerätesteuerung
  • Hoher Durchsatz und SCPI-Unterstützung von herkömmlichem SMU Befehlssatz

Kapazitätsmessgerät

LRC-Meter zur Charakterisierung von MEMS-Bauelementen

  • Test Frequenzbereich:10Hz bis 2 kHz (Genauigkeit: ± 0.01%, Auflösung: 4 Digits
  • Testfrequenz ist fortlaufend über gesamten Frequenzbereich oder ein Frequenzpunkt
  • 10 anwendungsspezifische Testparametersets lassen sich speichern und fortlaufend aufrufen
  • Grundgenauigkeit: 0.05% 
  • Maximale Messgeschwindigkeit: 25ms 
  • Kombination von 16 Haupt- und Neben-Parameter-Messungen und zusätzliche Überwachung von  zwei Parametern. Maximal können auf dem Display 4 unterschiedliche Parameter gleichzeitig dargestellt werden. 
  • DC-Widerstandsmessung und interne DC-Spannungsquelle mit ± 2,5 V
  • PASS/FAIL Entscheidungen
  • Automatische Pegelkontrolle (Auto Level Control / ALC) 
  • BIN–Funktion bietet 9BIN und 1AUX, insgesamt 10 BIN, entspricht Bauteilesortierung in 10 Klassen 
  • 10 Stufen für Testabfolgen, wobei 10 Testparametersätze wie Frequenz, Spannung und Strom eingestellt und gespeichert werden können. 
  • Farb-LCD-Display: 8,9 cm-Diagonale, (3,5 Zoll)
  • Standard Interface: RS-232C, USB-Speicher und Handler-Interface
  • Netzspannungsversorgung: AC 90V-250V, 50-60Hz, max. Aufnahmeleistung: 30 VA

Mikrofluidischer Sensor-Leser

Dieser Sensor-Leser erreicht eine 11 Bits-Auflösung mit einer Abtastrate von bis zu 100 kHz und einem Sub-Auflösungsrauschen für Genauigkeitsstufen bei Sensormessungen bis zu 0,05% der vollen Skala und Reaktionszeiten bis zu 0,1 ms.

  • Abtastrate bis 10 kHz

  • Auflösung: 11 Bits (2048 cts)

  • 3 Bereiche: 0-1 V, 0-5 V, 0-10V

  • Kompatibel mit anderen Elveflow-Instrumenten

  • Messgeräusch unter Auflösung

  • Rauschunterdrückung mit einem 60-Grad-Tiefpassfilter 3. Ordnung

Datenerfassungsgerät (DAQ)

Datenerfassungsgerät für den allgemeinen Laboreinsatz in Forschung und Entwicklung

  • 8 Analogeingänge (14 bit Auflösung, 20 kS/s), 2 Analogausgänge (14 bit, 5 kS/s pro Kanal), 13 Digital-I/O-Leitungen
  • Lizenz für interaktives Messprogramm DAQExpress™
  • Geringes Gewicht und Busbetrieb für mobile Handhabung; USB-Kabel enthalten
  • Einfaches Verbinden von Sensoren und Signalen mithilfe von Schraubklemmanschlüssen
  • OEM-Ausführung erhältlich
  • Hinweis: Die Modelle USB-6002 und USB-6003 bieten höhere Abtastraten und Auflösungen.
  • Unterstützt ANSI C, C# .NET, VB .NET, LabVIEW, LabWindows™/CVI und Measurement Studio

Reinraumzelt

  • Außenmaße: 2.460 x 1.860 x 2.650 mm (L x B x H)
  • Innenmaße: 2.400 x 1.800 x 2.200 mm (L x B x H)
  • Die Konstruktion besteht aus eloxierten Reinraum-Aluminiumprofilen, mit umlaufend 4 Ständerprofilen auf Stellfüßen, freitragend und selbststehend
  • 3 St. in die Decke eingelegte kompakte EC-Filter-Fan-Units 1.140 x 540 mm mit H14-Hochleistungsfilter für gleichmäßige Durchströmung des Zeltes
  • Die restliche Deckenfläche ist mit weißen, allseitig umleimten, Melaminplatten verschlossen
  • 4 St. gekapselte Unterbauleuchten mit je 28 W T5
  • Umlaufend PVC-Lamellenvorhänge, 1,0 mm dick, transparent, antistatisch, oben mit Klettband am Gestell befestigt, unten Bleiband, Vorhänge enden ca. 200 mm über dem Boden für Luftauslass
  • Umlaufend Kranzbleche, Farbe weißaluminium (RAL 9006), Deckenkonstruktion mit Trägerblechen aus verzinktem Stahlblech verstärkt
  • Der stufenlose Drehzahlsteller (Poti 0-10V) der FFU's und der Lichtschalter befinden sich an einem der Ständerprofile

Digitales Holographie Mikroskop (DHM)

Topographiemessgerät DHM R2203 erfasst die gesamte Topographieinformation einer mikroskopischen Probe innerhalb einer Einzelbildaufnahme mit einer Höhenauflösung bis zu 0.2nm. Dies ermöglicht 3D- Darstellungen in Echtzeit.

Ausstattung:
Objektive: 2.5x, 5x, 10x, 20x, 40x, 63x, 100x; 20x Verstärker (1MHz); Vakuumkammer; MiBots (Mikromanipulatoren); Pelton-Station; Schwingungsdämpfung; Reinraumzelt; Koala-Software

Optisches Mikroskop

Leica DM800M Inspektionsmikroskop mit vollständig integrierter LED-Beleuchtung für konstante Farbtemperatur in allen Kontrastverfahren Hellfeld (BF), Dunkelfeld (DF), Differentieller Interferenz Kontrast (DIC), Polarisationskontrast (POL), Schräglicht (OBL)

Ausstattung:
Objektive: 5x, 10x, 20x, 50x, 100x, Macro; Digital-Kamera 2048x1536 Pixel; 8“ Kreuztisch; Leica-LAS-Software

Optische Bank

mit schwingungsgedämpftem optischen Tisch 1.2 x 1.8 m; Dunkelzelt; HeNe-Laser, rot, 633 nm, 5 mW, 500:1 polarisiert; diverse optische Komponenten (Strahlführungssystem) Owis

Digitale Oszilloskope

u.a. Tektronix  TDS3054C (4ch, 500MHz, 5GS/s) mit Current-Probe TCP A300; Agilent  DSO9054H (4ch, 500MHz, 2.5GS/s); DSOX3034A (4ch, 350MHz, 4GS/s)

Funktionsgeneratoren

u.a. Tektronix AFG3102C: arbiträre 2 Kanäle (1GS/s); max. 100MHz Sinus; max. Spannung 10V

Digitalmultimeter

u.a. Agilent 34411A:6½-stellig; bis 10.000 Messungen pro Sekunde; Messfunktionen: DCV, ACV, DCI, ACI, 2-Draht- und 4-Draht-Widerstand, Frequenz, Periode, Durchgangsprüfung und Diodentest; Kapazitäts- und Temperaturmessungen; erweiterte Messbereiche; Datenlogger mit nichtflüchtigem Speicher für 50.000 Messwerte

Diverse Labornetzteile

u.a. Tektronix PWS4721: Spannung 0 → 72Vdc; Strom 0 → 1.2A; Leistung 86W

Im Rahmen eines gemeinsamen Kooperationsvertrages greift der Fachbereich Mikro- und Nanosysteme auf die technologischen Möglichkeiten der Reinräume des Fraunhofer-IPMS in Dresden und des Fraunhofer-IPMS-ISS Cottbus zu.

Weitere Informationen zu diesen Reinräumen finden Sie wie folgt:

Reinraum Fraunhofer-IPMS in Dresden