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Zielgruppen Querverweise
The push-pull principle: an electrostatic actuator concept for low distortion acoustic transducers Autor(en) Kaiser, Bert, Schenk, Hermann A. G., Ehrig, Lutz, Wall, Franziska, Monsalve, Jorge Mario, Langa, Sergiu, Stolz, Michael, Melnikov, Anton, Conrad, Holger, Schuffenhauer, David, Schenk, Harald Publikationsart Wissenschaftlicher Zeitschriftenartikel referiert Erscheinungsjahr 2022 Quelle Microsystems & Nanoengineering Band/Jahrgang Vol. 8 ISSN 2055-7434 DOI https://doi.org/10.1038/s41378-022-00458-z Proof of concept of an air-coupled electrostatic ultrasonic transducer based on lateral motion Autor(en) Monsalve, Jorge Mario, Melnikov, Anton, Stolz, Michael, Mrosk, Andreas, Jongmanns, Marcel, Wall, Franziska, Langa, Sergiu, Marica-Bercu, Ioana, Brändel, Tim, Kircher, Marco, Schenk, Hermann A. G., Kaiser, Bert, Schenk, Harald Publikationsart Wissenschaftlicher Zeitschriftenartikel referiert Erscheinungsjahr 2022 Quelle Sensors and Actuators A: Physical Band/Jahrgang Vol. 345 ISSN 1873-3069 0924-4247 DOI https://doi.org/10.1016/j.sna.2022.113813 Characterization of two-photon-polymerization lithography structures via Raman spectroscopy and nanoindentation Autor(en) Schweiger, Severin, Schulze, Tim F., Schlipf, Simon, Reinig, Peter, Schenk, Harald Publikationsart Wissenschaftlicher Zeitschriftenartikel referiert Erscheinungsjahr 2022 Quelle Journal of Optical Microsystems Band/Jahrgang Vol. 2 Ausgabe/Heft 3 ISSN 2708-5260 DOI https://doi.org/10.1117/1.jom.2.3.033501 Analog Spatial Light Modulators based on Micromirror Arrays Autor(en) Dauderstädt, Ulrike, Dürr, Peter, Gehner, Andreas, Wagner, Michael, Schenk, Harald Publikationsart Wissenschaftlicher Zeitschriftenartikel referiert Erscheinungsjahr 2021 Quelle Micromachines, Special Issue "Beam Steering via Arrayed Micromachines" Band/Jahrgang 12 Ausgabe/Heft 5 ISSN 2072-666X DOI https://doi.org/10.3390/mi12050483 Two-Photon Lithography Parameter Study for Manufacturing of Acoustic Metamaterials on MEMS Autor(en) Schweiger, Severin, Melnikov, Anton, Koch, Sandro G., Schenk, Harald Publikationsart Konferenzveröffentlichung nicht referiert Erscheinungsjahr 2021 Verlag Berlin ; Offenbach : VDE-Verlag Quelle MikroSystemTechnik Kongress 2021 : Mikroelektronik/Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen Innovative Produkte für zukunftsfähige Märkte 08. – 10. November 2021, Stuttgart-Ludwigsburg, S. 365 - 368 ISBN 978-3-8007-5656-8 URL https://www.vde-verlag.de/proceedings-de/455656092.html Reliability Aspects of in-plane NED Bending Actuators in Silicon-based MEMS Autor(en) Schenk, Harald, Stolz, Michael, Langa, Sergiu, Kaiser, Bert Publikationsart Konferenzveröffentlichung nicht referiert Erscheinungsjahr 2021 Verlag VDE-Verlag Quelle MikroSystemTechnik Kongress 2021 : Mikroelektronik / Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen Innovative Produkte für zukunftsfähige Märkte 08. – 10. November 2021, Stuttgart-Ludwigsburg ISBN 978-3-8007-5656-8 978-3-8007-5657-5 URL https://www.vde-verlag.de/proceedings-de/455656134.html Highly Modular Microsystem Inchworm Motor Based on a Nanoscopic Electrostatic Drive Autor(en) Schenk, Harald, Narimani, Keyvan, Scholles, Michael, Shashank, Shashank, Langa, Sergiu, Pineda Gomez, Roberto, Ruffert, Christine Publikationsart Konferenzveröffentlichung nicht referiert Erscheinungsjahr 2021 Verlag VDE e.V. Quelle MikroSystemTechnik Kongress 2021 : Mikroelektronik / Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen Innovative Produkte für zukunftsfähige Märkte 08. – 10. November 2021, Stuttgart-Ludwigsburg ISBN 978-3-8007-5656-8 978-3-8007-5657-5 URL https://www.vde-verlag.de/proceedings-de/455656160.html Numerical Simulation of Optical Through-Silicon Waveguide for 3D Photonic Interconnections Autor(en) Schenk, Harald, Villasmunta, Francesco, Steglich, Patrick, Schrader, Sigurd, Mai, Andreas Publikationsart Konferenzveröffentlichung nicht referiert Erscheinungsjahr 2021 Verlag IEEE Quelle 2021 International Conference on Numerical Simulation of Optoelectronic Devices (NUSOD) ISBN 978-1-6654-1276-6 978-1-6654-4836-9 URL https://ieeexplore.ieee.org/document/9541464 DOI https://doi.org/10.1109/NUSOD52207.2021.9541464 Two-Photon-Lithography Substrate Reflection and Absorption Compensation for Additive Manufacturing of Metamaterials on MEMS Autor(en) Schenk, Harald, Schweiger, Severin, Koch, Sandro G. Publikationsart Konferenzveröffentlichung nicht referiert Erscheinungsjahr 2021 Quelle 2021 44th International Spring Seminar on Electronics Technology (ISSE) ISBN 978-1-6654-1477-7 978-1-6654-3061-6 URL https://ieeexplore.ieee.org/document/9467575 DOI https://doi.org/10.1109/ISSE51996.2021.9467575 Large-Signal Equivalent-Circuit Model of Asymmetric Electrostatic Transducers Autor(en) Monsalve, Jorge Mario, Melnikov, Anton, Kaiser, Bert, Schuffenhauer, David, Stolz, Michael, Ehrig, Lutz, Schenk, Hermann, Conrad, Holger, Schenk, Harald Publikationsart Konferenzveröffentlichung referiert Erscheinungsjahr 2021 Freie Schlagworte Acoustic transducers; Duffing oscillator; Acoustic electrostatic actuators; equivalent-circuit model; microactuators; Electrostatics; Transducers; Mathematical models; Integrated circuit modeling; Capacitors; Microphones; Force Quelle IEEE/ASME Transactions on Mechatronics, S. 2612 - 2622 DOI https://doi.org/10.1109/TMECH.2021.3112267 Nonlinearity of balanced MEMS loudspeakers: optical experiments and numerical modeling using time-harmonic signals Autor(en) Schenk, Harald, Melnikov, Anton, Stolz, Michael, Wall, Franziska, Kaiser, Bert, Mrosk, Andreas, Schuffenhauer, David, Monsalve, Jorge Mario, Langa, Sergiu, Schenk, Hermann, Ehrig, Lutz, Conrad, Holger, Ahnert, Maik Publikationsart Konferenzveröffentlichung nicht referiert Erscheinungsjahr 2021 Quelle 27th International Congress on Sound and Vibration, Annual Congress of International Institute of Acoustics and Vibration (IIAV) URL https://www.researchgate.net/publication/354465569_Nonlinearity_of_balanced_MEMS_loudspeakers_optical_experiments_and_numerical_modeling_using_time-harmonic_signals Coulomb-actuated microbeams revisited: experimental and numerical modal decomposition of the saddle-node bifurcation Autor(en) Melnikov, Anton, Schenk, Hermann A. G., Monsalve, Jorge Mario, Wall, Franziska, Stolz, Michael, Mrosk, Andreas, Langa, Sergiu, Kaiser, Bert Publikationsart Wissenschaftlicher Zeitschriftenartikel referiert Erscheinungsjahr 2021 Freie Schlagworte Engineering; NEMS; Sensors Quelle Microsystems & Nanoengineering Band/Jahrgang 7 Ausgabe/Heft 1 ISSN 2055-7434 DOI https://doi.org/10.1038/s41378-021-00265-y Minimization of nonlinearities in nano electrostatic drive actuators using validated coupled-field simulation Autor(en) Melnikov, Anton, Schenk, Hermann, Wall, Franziska, Spitz, Barbara, Ehrig, Lutz, Langa, Sergiu, Kaiser, Bert, Conrad, Holger, Schenk, Harald, Stolz, Michael Publikationsart Konferenzveröffentlichung nicht referiert Erscheinungsjahr 2020 Quelle SPIE Conference: MOEMS and Miniaturized Systems XIX, San Francisco, USA, 2020, Proc. SPIE 11293 DOI https://doi.org/10.1117/12.2551271 Optische Charakterisierungsmethoden von siliziumbasierten MEMS mit verdeckten Strukturen Autor(en) Stolz, Michael, Mrosk, Andreas, Kaiser, Bert, Langa, Sergiu, Ehrig, Lutz, Conrad, Holger, Gaudet, Matthieu, Schenk, Harald Publikationsart Konferenzveröffentlichung referiert Erscheinungsjahr 2019 Verlag VDE-Verlag Quelle MikroSystemTechnik-Kongress, Berlin, Germany, 2019, S. 366 - 369 URL https://www.ipms.fraunhofer.de/de/events/2019/mst-kongress.html Audio-Transducer für In-Ear-Anwendungen auf der Basis CMOS-kompatibler, elektrostatischer Biegeaktoren Autor(en) Spitz, Barbara, Wall, Franziska, Schenk, Hermann, Melnikov, Anton, Ehrig, Lutz, Langa, Sergiu, Stolz, Michael, Kaiser, Bert, Conrad, Holger, Schenk, Harald, Pufe, Wolfram Publikationsart Konferenzveröffentlichung referiert Erscheinungsjahr 2019 Verlag VDE-Verlag Quelle MikroSystemTechnik-Kongress, Berlin, Germany, 2019, S. 54 - 57 Concept and proof for an all-silicon MEMS micro speaker utilizing air chambers Autor(en) Kaiser, Bert, Langa, Sergiu, Ehrig, Lutz, Stolz, Michael, Schenk, Hermann, Conrad, Holger, Schenk, Harald, Schimmanz, Klaus, Schuffenhauer, David Publikationsart Wissenschaftlicher Zeitschriftenartikel referiert Erscheinungsjahr 2019 Quelle Microsystems and Nanoengineering Ausgabe/Heft 5 ISSN 2055-7434 DOI https://doi.org/10.1038/s41378-019-0095-9 Acoustic validation of electrostatic all-silicon MEMS-speakers Autor(en) Ehrig, Lutz, Kaiser, Bert, Schenk, Hermann, Stolz, Michael, Langa, Sergiu, Conrad, Holger, Schenk, Harald, Männchen, Andreas, Brocks, Tobias Publikationsart Konferenzveröffentlichung nicht referiert Erscheinungsjahr 2019 Quelle AES International Conference on Headphone Technology, San Francisco, New York, USA, 2019 URL https://www.aes.org/e-lib/browse.cfm?elib=20522 DOI https://doi.org/10.17743/aesconf.2019.978-1-942220-29-9 Electrostatic all-silicon MEMS audio transducer for in-ear audio applications – acoustic measurements and modelling approach Autor(en) Ehrig, Lutz, Schenk, Hermann, Wall, Franziska, Melnikov, Anton, Stolz, Michael, Langa, Sergiu, Kaiser, Bert, Conrad, Holger Publikationsart Konferenzveröffentlichung nicht referiert Erscheinungsjahr 2019 Quelle 23rd International Congress on Acoustics, Aachen, Germany, 2019 DOI https://doi.org/10.18154/RWTH-CONV-239893 Liquid pumping induced by transverse forced vibrations of an elastic beam: A lubrication approach Autor(en) Borcia, Rodica, Bestehorn, Michael, Uhlig, Sebastian, Gaudet, Matthieu, Schenk, Harald Publikationsart Wissenschaftlicher Zeitschriftenartikel referiert Erscheinungsjahr 2018 Freie Schlagworte Microfluidic devices; Thin fluid films Quelle Physical Review Fluids Band/Jahrgang 3 Ausgabe/Heft 8 ISSN 2469-990X URL https://journals.aps.org/prfluids/abstract/10.1103/PhysRevFluids.3.084202 DOI https://doi.org/10.1103/PhysRevFluids.3.084202 Electrostatically driven in-plane silicon micropump for modular configuration Autor(en) Uhlig, Sebastian, Gaudet, Matthieu, Langa, Sergiu, Schimmanz, Klaus, Conrad, Holger, Kaiser, Bert, Schenk, Harald Publikationsart Wissenschaftlicher Zeitschriftenartikel referiert Erscheinungsjahr 2018 Freie Schlagworte micropump; electrostatic actuation; nano e-drive; in-plane reciprocating displacement micropump; MEMS Quelle Micromachines Band/Jahrgang 9 Ausgabe/Heft 4 ISSN 2072-666X DOI https://doi.org/10.3390/mi9040190 Mikromechanical devices with mechanical actuators Autor(en) Conrad, Holger, Gaudet, Matthieu, Schenk, Harald, Uhlig, Sebastian Publikationsart Patent Erscheinungsjahr 2018 Patentnummer EP 3568595 A1 MEMS-Wandler zum Interagieren mit einem Volumenstrom eines Fluids und Verfahren zum Herstellen desselben Autor(en) Schenk, Harald, Conrad, Holger Publikationsart Patent Erscheinungsjahr 2018 Patentnummer WO18193109 Advances in MOEMS technologies for high quality imaging systems Autor(en) Schenk, Harald, Wagner, Michael, Grahmann, Jan, Merten, André Herausgeber Kye, Jongwook, Owa, Soichi Publikationsart Konferenzveröffentlichung Erscheinungsjahr 2018 Verlag Bellingham, Washington : SPIE Quelle Optical Microlithography XXXI, 27 February-1 March 2018, San Jose, California, Unites States ISBN 978-1-5106-1666-0 978-1-5106-1667-7 DOI https://doi.org/10.1117/12.2297399 Schriftenreihe(n) ; Bandnummer Proceedings of SPIE ; volume 10587 CMOS-kompatibler MEMS-Lautsprecher für Im-Ohr-Anwendungen Autor(en) Conrad, Holger, Ehrig, Lutz, Kaiser, Bert, Schenk, Hermann, Schuffenhauer, David, Stolz, Michael, Gaudet, Matthieu, Schenk, Harald Publikationsart Konferenzveröffentlichung Erscheinungsjahr 2018 Verlag Berlin : Deutsche Gesellschaft für Akustik e.V. (DEGA) Quelle Tagungsband, DAGA 2018, 44. Deutsche Jahrestagung für Akustik, 19.-22. März 2018, München, S. 892 - 894 ISBN 978-3-939296-13-3 MEMS-Loudspeaker - A Novel Class of Electroacoustic Transducers for Mobile Audio Applications Autor(en) Ehrig, Lutz, Kaiser, Bert, Conrad, Holger, Schenk, Hermann, Schuffenhauer, David, Stolz, Michael, Gaudet, Matthieu, Schenk, Harald, Kolkovsky, Vladimir Publikationsart Konferenzveröffentlichung referiert Erscheinungsjahr 2018 Quelle Tonmeistertagung - VDT International Convention, Cologne, Germany, 2018, Proc. TMT 30, S. 189 - 192 Electrostatic bending actuators with liquid filled nanometer scale gap Autor(en) Gaudet, Matthieu, Uhlig, Sebastian, Stolz, Michael, Arscott, S., Conrad, Holger, Langa, Sergiu, Kaiser, Bert, Schenk, Harald Publikationsart Konferenzveröffentlichung Erscheinungsjahr 2017 Verlag Piscataway, NJ : IEEE Quelle MEMS 2017, the 30th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Las Vegas, Nevada, USA, January 22-26 2017, S. 175 - 178 ISBN 978-1-5090-5078-9 978-1-5090-5079-6 URL http://ieeexplore.ieee.org/document/7863369/ A contribution to the expansion of the applicability of electrostatic forces in micro transducers Autor(en) Schenk, Harald, Conrad, Holger, Gaudet, Matthieu, Uhlig, Sebastian, Kaiser, Bert, Langa, Sergiu, Stolz, Michael, Schimmanz, Klaus Publikationsart Konferenzveröffentlichung Erscheinungsjahr 2017 Verlag Bellingham, Washington, USA : SPIE Quelle MOEMS and Miniaturized Systems XVI, 30 January-1 February 2017, San Francisco, California, United States ISBN 978-1-5106-0674-6 978-1-5106-0673-9 DOI https://doi.org/10.1117/12.2249575 Schriftenreihe(n) ; Bandnummer Proceedings of SPIE ; 10116 Technological aspects of a new micro-electro-mechanical actuation principle: nano e-drive Autor(en) Langa, Sergiu, Conrad, Holger, Kaiser, Bert, Stolz, Michael, Gaudet, Matthieu, Uhlig, Sebastian, Schimmanz, Klaus, Schenk, Harald Publikationsart Wissenschaftlicher Zeitschriftenartikel referiert Erscheinungsjahr 2017 Quelle Microsystem Technologies, S. 5697 - 5708 Band/Jahrgang 23 Ausgabe/Heft 1 ISSN 1432-1858 DOI https://doi.org/10.1007/s00542-017-3360-6 CMOS-kompatible elektrostatische Biegeaktoren (CMOS-compatible electrostatic actuators Autor(en) Conrad, Holger, Gaudet, Matthieu, Kaiser, Bert, Langa, Sergiu, Stolz, Michael, Schenk, Harald Publikationsart Konferenzveröffentlichung Erscheinungsjahr 2017 Verlag Berlin [u.a.] : VDE-Verlag Quelle MikroSystemTechnik Kongress 2017, München, Germany, 23.-25. Oktober 2017, S. 219 - 222 ISBN 978-3-8007-4491-6 Electrostatically in-plane driven silicon micropump for modular configuration Autor(en) Uhlig, Sebastian, Gaudet, Matthieu, Langa, Sergiu, Schimmanz, Klaus, Conrad, Holger, Kaiser, Bert, Schenk, Harald Publikationsart Konferenzveröffentlichung Erscheinungsjahr 2017 Verlag Enschede : University of Twente Quelle Conference proceedings, The 3rd Conference on MicroFluidic Handling Systems (MFHS 2017), 4 - 6 October 2017, Enschede, The Netherlands, S. 57 - 60 URL http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-477736.html Influence of annealing in H atmosphere on the electrical properties of Al₃O₃ layers grown on p-type Si by the atomic layer deposition technique Autor(en) Kolkovsky, Vladimir, Stübner, R., Langa, Sergiu, Wende, U., Kaiser, Bert, Conrad, Holger, Schenk, Harald Publikationsart Wissenschaftlicher Zeitschriftenartikel referiert Erscheinungsjahr 2016 Quelle Solid-State Electronics, S. 89 - 95 Band/Jahrgang 123 ISSN 0038-1101 DOI https://doi.org/10.1016/j.sse.2016.06.005 A novel electrostatic actuator class Autor(en) Conrad, Holger, Kaiser, Bert, Gaudet, Matthieu, Langa, Sergiu, Stolz, Michael, Uhlig, Sebastian, Schimmanz, Klaus, Schenk, Harald Publikationsart Wissenschaftlicher Zeitschriftenartikel referiert Erscheinungsjahr 2016 Quelle Procedia Engineering, S. 1533 - 1536 Band/Jahrgang 168 ISSN 1877-7058 DOI https://doi.org/10.1016/j.proeng.2016.11.454 A novel electrostatic micro-actuator class and its application potential for optical MEMS Autor(en) Schenk, Harald, Conrad, Holger, Gaudet, Matthieu, Uhlig, Sebastian, Kaiser, Bert, Langa, Sergiu, Stolz, Michael, Schimmanz, Klaus Publikationsart Konferenzveröffentlichung Erscheinungsjahr 2016 Verlag Piscataway, NJ : IEEE Quelle 2016 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics,31 July-04 August 2016, Singapore, proceedings, S. 311-1 - 311-2 ISBN 978-1-5090-1036-3 DOI https://doi.org/10.1109/OMN.2016.7565867 Ion-sensitive structure and method of manufacturing the same Autor(en) Kurth, Eberhard, Kunath, Christian, Schenk, Harald Publikationsart Patent Erscheinungsjahr 2016 Patentnummer US 2016274057 Micromechanical element Autor(en) Conrad, Holger, Schenk, Harald, Schirrmann, Christian, Zimmer, Fabian, Schmidt, Jan-Uwe, Sandner, Thilo Publikationsart Patent Erscheinungsjahr 2015 Patentnummer US 9164277 About stress in filled DRIE-trenches Autor(en) Kaiser, Bert, Grashoff, Thomas, Drabe, Christian, Conrad, Holger, Schenk, Harald Publikationsart Wissenschaftlicher Zeitschriftenartikel referiert Erscheinungsjahr 2015 Quelle Journal of Micromechanics and Microengineering (JMM), S. 8085003 Band/Jahrgang 25 Ausgabe/Heft 8 ISSN 0960-1317 URL http://iopscience.iop.org/article/10.1088/0960-1317/25/8/085003 A small-gap electrostatic micro-actuator for large deflections Autor(en) Conrad, Holger, Schenk, Harald, Kaiser, Bert, Langa, Sergiu, Gaudet, Matthieu, Schimmanz, Klaus, Stolz, Michael, Lenz, Miriam Publikationsart Wissenschaftlicher Zeitschriftenartikel referiert Erscheinungsjahr 2015 Quelle Nature Communications, S. 10078 Ausgabe/Heft 6 ISSN 2041-1723 DOI https://doi.org/10.1038/ncomms10078 Widely tunable quantum cascade lasers for spectroscopic sensing Autor(en) Wagner, J., Ostendorf, Ralf, Grahmann, Jan, Merten, A., Hugger, S., Jarvis, J.-P., Fuchs, F., Boscovic, D., Schenk, Harald Herausgeber Razeghi, Manijeh Publikationsart Konferenzveröffentlichung Erscheinungsjahr 2015 Verlag Bellingham, Wash. : SPIE Quelle Quantum sensing and nanophotonic devices XII, 8 - 12 February 2015, San Francisco, California, United States, S. 937012-1 - 937012-6 ISBN 978-1-62841-460-8 Schriftenreihe(n) ; Bandnummer Proceedings of SPIE ; 9370 Spatially resolved contrast measurement of diffractive micromirror arrays Autor(en) Sicker, Cornelius, Heber, Jörg, Berndt, Dirk, Rückerl, Florian, Tinevez, Jean-Yves, Shorte, Spencer, Wagner, Michael, Schenk, Harald Publikationsart Wissenschaftlicher Zeitschriftenartikel nicht referiert Erscheinungsjahr 2015 Verlag Bellingham, Wash. : SPIE Quelle MOEMS and miniaturized systems XIV, 9 - 12 February 2015, San Francisco, California, United States, S. 93750-1 - 93750-10 ISBN 978-1-62841-465-3 Schriftenreihe(n) ; Bandnummer Proceedings of SPIE ; 9375 Mikromechanisches System zum Durchstimmen von Lasern (Micromechanical system for tuning of lasers) Autor(en) Schenk, Harald, Grahmann, Jan, Wagner, Hans-Joachim, Ostendorf, Ralf, Rattunde, Marcel Publikationsart Patent Erscheinungsjahr 2015 Patentnummer US 2016336720 MEMS-Wandler zum Interagieren mit einem Volumenstrom eines Fluids und Verfahren zum Herstellen desselben Autor(en) Schenk, Harald, Conrad, Holger, Gaudet, Matthieu, Schimmanz, Klaus, Langa, Sergiu, Kaiser, Bert Publikationsart Patent Erscheinungsjahr 2015 Patentnummer WO 16202790 Micro-scanning mirrors for high-power laser applications in laser surgery Autor(en) Sandner, Thilo, Kimme, S., Grashoff, Thomas, Todt, U., Graf, A., Tulea, C., Lenenbach, A., Schenk, Harald Publikationsart Konferenzveröffentlichung Erscheinungsjahr 2014 Verlag Bellingham : SPIE Press Quelle MOEMS and miniaturized systems XIII, 3 - 6 February 2014, San Francisco, California, United States, S. 897705-1 - 897705-11 ISBN 978-0-8194-9890-8 Schriftenreihe(n) ; Bandnummer Proceedings of SPIE ; 8977 Quasi-static microscanner with linearized raster scanning for an adaptive 3D-laser camera Autor(en) Sandner, Thilo, Grashoff, Thomas, Schwarzenberg, Markus, Schroedter, R., Schenk, Harald Publikationsart Konferenzveröffentlichung Erscheinungsjahr 2014 Verlag Bellingham : SPIE Press Quelle SPIE Conference: MOEMS and Miniaturized Systems XIII, San Francisco, 2014, S. 897717-1 - 897717-9 ISBN 978-0-8194-9890-8 Schriftenreihe(n) ; Bandnummer Proceedings of SPIE ; 8977 Tunable external cavity quantum cascade lasers (EC-QCL): an application field for MOEMS based scanning gratings Autor(en) Grahmann, Jan, Merten, André, Ostendorf, Ralf, Fontenot, M., Bleh, Daniela, Schenk, Harald, Wagner, Hans-Joachim Publikationsart Wissenschaftlicher Zeitschriftenartikel nicht referiert Erscheinungsjahr 2014 Verlag Bellingham : SPIE Press Quelle SPIE Conference: MOEMS and Miniaturized Systems XIII, San Francisco, 2014, S. 897708-1 - 897708-11 ISBN 978-0-8194-9890-8 Schriftenreihe(n) ; Bandnummer Proceedings of SPIE ; 8977 Quasistatic microscanner with linearized scanning for an adaptive three-dimensional laser camera Autor(en) Sandner, Thilo, Grashoff, Thomas, Schwarzenberg, Markus, Schroedter, Richard, Schenk, Harald Publikationsart Wissenschaftlicher Zeitschriftenartikel nicht referiert Erscheinungsjahr 2014 Quelle Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS, S. 011114-1 - 011114-10 Band/Jahrgang 13 Ausgabe/Heft 1 ISSN 1932-5134 MEMS basiertes Durchstimmen von Lasern Autor(en) Grahmann, Jan, Wagner, Hans-Joachim, Ostendorf, Ralf, Schenk, Harald, Rattunde, Marcel Publikationsart Patent Erscheinungsjahr 2014 Patentnummer DE 10 2014 201 701.7 Elektrostatisch auslenkbares mikromechanisches Bauelement Autor(en) Langa, Sergiu, Conrad, Holger, Schenk, Harald, Stolz, Michael Publikationsart Patent Erscheinungsjahr 2014 Patentnummer DE 10 2014 225 934.7 Micro mirrors for high-speed laser deflections and patterning Autor(en) Schenk, Harald, Grahmann, Jan, Sandner, Thilo, Wagner, Michael, Dauderstädt, Ulrike, Schmidt, Jan-Uwe Publikationsart Wissenschaftlicher Zeitschriftenartikel nicht referiert Erscheinungsjahr 2014 Quelle Physics Procedia, S. 7 - 18 Band/Jahrgang 56 ISSN 1875-3892 DOI https://doi.org/10.1016/j.phpro.2014.08.090 Design an fabrication of a tunable two-fluid micro-lens device with a large deflection polymer actuator Autor(en) Schirrmann, Christian, Costache, Florenta Adriana, Bornhorst, Kirstin, Pawlik, Boscij, Rieck, Andreas, Schenk, Harald Publikationsart Wissenschaftlicher Zeitschriftenartikel referiert Erscheinungsjahr 2014 Quelle Procedia Engineering, S. 1553 - 1556 Ausgabe/Heft 87 ISSN 1877-7058 MEMS-based miniature near-infrared spectrometer for application in environmental and food monitoring Autor(en) Hintschich, Susanne, Pügner, Tino, Knobbe, Jens, Schröder, Julia, Reinig, Peter, Grüger, Heinrich, Schenk, Harald Publikationsart Wissenschaftlicher Zeitschriftenartikel nicht referiert Erscheinungsjahr 2014 Quelle Proceedings of the 8th International Conference on Sensing Technology, Sep. 2-4, 2014, Liverpool, UK, S. 430 - 434 Miniaturization of a fast tunable external cavity QCL with customized gratings and MOEMS components Autor(en) Bleh, D., Ostendorf, Ralf, Merten, A., Grahmann, Jan, Schenk, Harald, Kunzer, M., Schmidt, R., Wagner, J. Publikationsart Konferenzveröffentlichung Erscheinungsjahr 2014 Quelle International Quantum Cascade Lasers School & Workshop (IQCLSW), Policoro, Italy, S. 1 - 2 URL http://www.iqclsw2014.cnr.it/wp-content/uploads/2014/03/Bleh-IQCLSW2014.pdf?0f100a Development, characterization and application of compact spectrometers based on MEMS with in-plane capacitive drives Autor(en) Kenda, Andreas, Kraft, Martin, Tortschanoff, Andreas, Scherf, Werner, Sandner, Thilo, Schenk, Harald, Luettjohann, Stephan, Simon, Apolline Publikationsart Wissenschaftlicher Zeitschriftenartikel nicht referiert Erscheinungsjahr 2014 Verlag Bellingham, Wash. : SPIE Quelle Next-generation spectroscopic technologies VII, 5 - 6 May 2014, Baltimore, Maryland, United States, S. 910102-1 - 910102-10 ISBN 978-1-62841-038-9 Schriftenreihe(n) ; Bandnummer Proceedings of SPIE ; 9101 Apparatus and method for guiding optical waves Autor(en) Costache, Florenta Adriana, Blasl, Martin, Schenk, Harald Publikationsart Patent Erscheinungsjahr 2014 Patentnummer US 9046704 Translatory MOEMS actuator and system integration for miniaturized Fourier transform spectrometers Autor(en) Sandner, Thilo, Grashoff, Thomas, Gaumont, E., Schenk, Harald, Kenda, Andreas Publikationsart Wissenschaftlicher Zeitschriftenartikel nicht referiert Erscheinungsjahr 2014 Quelle Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS, S. 011115-1 - 011115-14 Band/Jahrgang 13 Ausgabe/Heft 1 ISSN 1932-5134 Quasistatic microscanner with linearized raster scanning for an adaptive 3D-laser camera Autor(en) Sandner, Thilo, Grashoff, Thomas, Schwarzenberg, Markus, Schenk, Harald, Tortschanoff, Andreas Publikationsart Konferenzveröffentlichung Erscheinungsjahr 2013 Verlag Bellingham, Wash. : SPIE Quelle SPIE Conference MOEMS and Miniaturized Systems XII, San Francisco, 2013, S. 861605-1 - 861605-6 ISBN 978-1-4799-1512-5 Schriftenreihe(n) ; Bandnummer Proceedings of SPIE ; 8616 Design and Characterization of a hybrid-integrated MEMS scanning grating spectrometer Autor(en) Grüger, Heinrich, Knobbe, Jens, Pügner, Tino, Schenk, Harald Publikationsart Konferenzveröffentlichung Erscheinungsjahr 2013 Verlag Bellingham, Wash. : SPIE Quelle SPIE Conference MOEMS and Miniaturized Systems XII, San Francisco, 2013, S. 86160-1 - 86160-13 ISBN 978-0-8194-9385-9 DOI https://doi.org/10.1117/12.2004215 Schriftenreihe(n) ; Bandnummer Proceedings of SPIE ; 8616 Wafer level vacuum packaging of scanning micro-mirrors using glass-frit and anodic bonding methods Autor(en) Langa, Sergiu, Drabe, Christian, Kunath, Christian, Dreyhaupt, André, Schenk, Harald Publikationsart Wissenschaftlicher Zeitschriftenartikel nicht referiert Erscheinungsjahr 2013 Verlag Bellingham, Wash. : SPIE Quelle SPIE Conference MOEMS and Miniaturized Systems XII, San Francisco, 2013, S. 86140-1 - 86140-8 ISBN 978-0-8194-9385-9 DOI https://doi.org/10.1117/12.2003525 Schriftenreihe(n) ; Bandnummer Proceedings of SPIE ; 8614 First application close measurements applying the new hybrid integrated MEMS spectrometer Autor(en) Grüger, Heinrich, Pügner, Tino, Knobbe, Jens, Schenk, Harald Publikationsart Konferenzveröffentlichung Erscheinungsjahr 2013 Verlag Bellingham, Wash. : SPIE Quelle SPIE Conference Next-Generation Spectroscopic Technologies VI, Baltimore, S. 872609-1 - 872609-9 ISBN 978-0-8194-9517-4 DOI https://doi.org/10.1117/12.2016085 Schriftenreihe(n) ; Bandnummer Proceedings of SPIE ; 8726 Micro-scanning mirrors for high-power laser applications in laser surgery Autor(en) Sandner, Thilo, Kimme, S., Grashoff, Thomas, Todt, U., Graf, A., Schenk, Harald, Tulea, C., Lenenbach, A. Publikationsart Konferenzveröffentlichung Erscheinungsjahr 2013 Verlag Piscataway, NJ : IEEE Quelle International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics Conference, OMN 2013, Proceedings, 18-22 August 2013, Kanazawa, Japan, S. 83 - 84 ISBN 978-1-4799-1512-5 Method for generating a micromechanical structure Autor(en) Jung, Denis, Drabe, Christian, Schenk, Harald, Sandner, Thilo, Klose, Thomas, Wolter, Alexander Publikationsart Patent Erscheinungsjahr 2013 Patentnummer DE 10 2008 013 116 Optical device comprising a structure for avoiding reflections Autor(en) Sandner, Thilo, Schenk, Harald Publikationsart Patent Erscheinungsjahr 2013 Patentnummer DE 10 2008 012 810 B4 Bi-resonant scanning mirror with Piezo-resistive position sensor for WVGA laser projection systems Autor(en) Drabe, Christian, Kallweit, David, Dreyhaupt, Andre, Grahmann, Jan, Schenk, Harald, Davis, Wyatt Publikationsart Konferenzveröffentlichung Erscheinungsjahr 2012 Verlag Bellingham : SPIE Press Quelle SPIE Conference MOEMS and Miniaturized Systems XI, San Francisco, 2012, S. 825209-1 - 825209-10 ISBN 978-0-8194-8930-2 DOI https://doi.org/10.1117/12.910203 Schriftenreihe(n) ; Bandnummer Proceedings of SPIE ; 8252 Translatory MEMS actuator and their system integration for miniaturized Fourier transform spectrometers Autor(en) Sandner, Thilo, Grashoff, Thomas, Schenk, Harald, Kenda, Andreas Publikationsart Konferenzveröffentlichung Erscheinungsjahr 2012 Verlag Bellingham : SPIE Press Quelle SPIE Conference MOEMS and Miniaturized Systems XI, San Francisco, 2012, S. 82520-1 - 82520-10 ISBN 978-0-8194-8930-2 DOI https://doi.org/10.1117/12.909817 Schriftenreihe(n) ; Bandnummer Proceedings of SPIE ; 8252 Vertical comb drive microscanners for beam steering, linear scanning and laser projection applications Autor(en) Jung, Denis, Sandner, Thilo, Kallweit, David, Schenk, Harald Publikationsart Konferenzveröffentlichung Erscheinungsjahr 2012 Verlag Bellingham : SPIE, The Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers Quelle SPIE Conference MOEMS and Miniaturized Systems XI, San Francisco, 2012, S. 82520-1 - 82520-10 ISBN 978-0-8194-8930-2 URL http://dx.doi.org/10.1117/12.906690 Schriftenreihe(n) ; Bandnummer Proceedings of SPIE ; 8252 MOEMS and miniaturized systems XI : San Francisco, California, USA, January 21, 2012 Herausgeber Schenk, Harald, Piyawattanametha, Wibool, Noell, Wilfried Publikationsart Konferenzveröffentlichung Erscheinungsjahr 2012 Verlag Bellingham : SPIE, The Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers Erste Seite 825203-1 Letzte Seite 825210-6 ISBN 978-0-8194-8930-2 Schriftenreihe(n) ; Bandnummer Proceedings of SPIE ; 8252 Fluidic Variable Focal length optical Lens and Method of Manufacturing the same Autor(en) Costache, Florenta Adriana, Schenk, Harald, Bornhorst, Kirstin, Schirrmann, Christian Publikationsart Patent Erscheinungsjahr 2012 Patentnummer DE 11 2010 005 674.9 Realization of a hybrid-integrated MEMS scanning grating spectrometer Autor(en) Pügner, Tino, Knobbe, Jens, Grüger, Heinrich, Schenk, Harald Publikationsart Konferenzveröffentlichung Erscheinungsjahr 2012 Verlag Bellingham : SPIE, The Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers Quelle SPIE Conference Next-Generation Spectroscopic Technologies V, 23 - 24 April 2012, Baltimore, Maryland, S. 83740-1 - 83740-8 URL http://dx.doi.org/10.1117/12.919068 Schriftenreihe(n) ; Bandnummer Proceedings of SPIE ; 8374 Laser projector solution based on two 1D resonant micro scanning mirrors assembled in a low vertical distortion scan head Autor(en) Grahmann, Jan, Wildenhain, Michael, Grashoff, Thomas, Gerwig, Christian, Dallmann, Hans-Georg, Wolter, Alexander, Schenk, Harald Publikationsart Konferenzveröffentlichung Erscheinungsjahr 2012 Verlag Bellingham : SPIE, The Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers Quelle SPIE Conference MOEMS and Miniaturized Systems XI, San Francisco, 2012, S. 825205-1 - 825205-9 ISBN 978-0-8194-8930-2 URL http://dx.doi.org/10.1117/12.910671 Schriftenreihe(n) ; Bandnummer Proceedings of SPIE ; 8252 Micromechanical device with tilted electrodes Autor(en) Schenk, Harald, Sandner, Thilo, Drabe, Christian, Klose, Thomas, Jung, Denis Publikationsart Patent Erscheinungsjahr 2012 Patentnummer DE 10 2008 012 825 Method for the compensation of deviations occurring as a result of manufacture in the manufacture of micromechanical elements and their use Autor(en) Klose, Thomas, Wolter, Alexander, Schenk, Harald Publikationsart Patent Erscheinungsjahr 2012 Patentnummer DE10 2006 043 388 (10.04.2008) Mikromechanisches Bauelement mit erhöhter Steifigkeit und Verfahren zum Herstellen desselben (Micromechanical component having inncreased stiffness, and method for the production of the same Autor(en) Schenk, Harald, Sandner, Thilo Publikationsart Patent Erscheinungsjahr 2012 Patentnummer DE 11 2007 003 051 Micro Mirrors Autor(en) Schenk, Harald, Hornbeck, L. J. Herausgeber Waser, Rainer Publikationsart Teil eines Buches (Kapitel) Erscheinungsjahr 2012 Verlag Weinheim : Wiley-VCH-Verlag Quelle Nanoelectronics and information technology : advanced electronic materials and novel devices, S. 985 - 999 ISBN 978-3-527-40927-3 Optical position feedback for electrostatically driven MOEMS-scanners Autor(en) Tortschanoff, Andreas, Baumgart, M., Frank, A., Wildenhain, Michael, Sandner, Thilo, Schenk, Harald, Kenda, Andreas Publikationsart Konferenzveröffentlichung Erscheinungsjahr 2012 Verlag Bellingham : SPIE, The Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers Quelle SPIE Conference MOEMS and Miniaturized Systems XI, San Francisco, 2012, S. 82520-1 - 82520-8 ISBN 978-0-8194-8930-2 URL http://dx.doi.org/10.1117/12.907761 Schriftenreihe(n) ; Bandnummer Proceedings of SPIE ; 8252
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