UBICO

Liquid pumping induced by transverse forced vibrations of an elastic beam: A lubrication approach

Autor(en)
Borcia, Rodica, Bestehorn, Michael, Uhlig, Sebastian, Gaudet, Matthieu, Schenk, Harald
Publikationsart
Wissenschaftlicher Zeitschriftenartikel referiert
Erscheinungsjahr
2018
Quelle
Physical Review Fluids
Band/Jahrgang
3
Ausgabe/Heft
8
ISSN
2469-990X
URL
https://journals.aps.org/prfluids/abstract/10.1103/PhysRevFluids.3.084202
DOI
http://dx.doi.org/10.1103/PhysRevFluids.3.084202

Electrostatically driven in-plane silicon micropump for modular configuration

Autor(en)
Uhlig, Sebastian, Gaudet, Matthieu, Langa, Sergiu, Schimmanz, Klaus, Conrad, Holger, Kaiser, Bert, Schenk, Harald
Publikationsart
Wissenschaftlicher Zeitschriftenartikel referiert
Erscheinungsjahr
2018
Quelle
Micromachines
Band/Jahrgang
9
Ausgabe/Heft
4
ISSN
2072-666X
DOI
http://dx.doi.org/10.3390/mi9040190

MEMS transducer for interacting with a volume flow of a fluid and method of manufacturing the same

Autor(en)
Schenk, Harald, Conrad, Holger, Gaudet, Matthieu, Schimmanz, Klaus, Langa, Sergiu, Kaiser, Bert
Publikationsart
Patent
Erscheinungsjahr
2018
Patentnummer
JP2018521576

Mikromechanical devices with mechanical actuators

Autor(en)
Conrad, Holger, Gaudet, Matthieu, Schenk, Harald, Uhlig, Sebastian
Publikationsart
Patent
Erscheinungsjahr
2018
Patentnummer
WO2018130527

MEMS-Wandler zum Interagieren mit einem Volumenstrom eines Fluids und Verfahren zum Herstellen desselben

Autor(en)
Schenk, Harald, Conrad, Holger
Publikationsart
Patent
Erscheinungsjahr
2018
Patentnummer
WO18193109

Advances in MOEMS technologies for high quality imaging systems

Autor(en)
Schenk, Harald, Wagner, Michael, Grahmann, Jan, Merten, André
Herausgeber
Kye, Jongwook, Owa, Soichi
Publikationsart
Konferenzveröffentlichung
Erscheinungsjahr
2018
Verlag
Bellingham, Washington : SPIE
Quelle
Optical Microlithography XXXI, 27 February-1 March 2018, San Jose, California, Unites States
ISBN
978-1-5106-1666-0
978-1-5106-1667-7
DOI
http://dx.doi.org/10.1117/12.2297399
Schriftenreihe(n) ; Bandnummer
Proceedings of SPIE ; volume 10587

CMOS-kompatibler MEMS-Lautsprecher für Im-Ohr-Anwendungen

Autor(en)
Conrad, Holger, Ehrig, Lutz, Kaiser, Bert, Schenk, Hermann, Schuffenhauer, David, Stolz, Michael, Gaudet, Matthieu, Schenk, Harald
Publikationsart
Konferenzveröffentlichung
Erscheinungsjahr
2018
Verlag
Berlin : Deutsche Gesellschaft für Akustik e.V. (DEGA)
Quelle
Tagungsband, DAGA 2018, 44. Deutsche Jahrestagung für Akustik, 19.-22. März 2018, München, S. 892 - 894
ISBN
978-3-939296-13-3

Electrostatic bending actuators with liquid filled nanometer scale gap

Autor(en)
Gaudet, Matthieu, Uhlig, Sebastian, Stolz, Michael, Arscott, S., Conrad, Holger, Langa, Sergiu, Kaiser, Bert, Schenk, Harald
Publikationsart
Konferenzveröffentlichung
Erscheinungsjahr
2017
Verlag
Piscataway, NJ : IEEE
Quelle
MEMS 2017, the 30th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Las Vegas, Nevada, USA, January 22-26 2017, S. 175 - 178
ISBN
978-1-5090-5078-9
978-1-5090-5079-6
URL
http://ieeexplore.ieee.org/document/7863369/

A contribution to the expansion of the applicability of electrostatic forces in micro transducers

Autor(en)
Schenk, Harald, Conrad, Holger, Gaudet, Matthieu, Uhlig, Sebastian, Kaiser, Bert, Langa, Sergiu, Stolz, Michael, Schimmanz, Klaus
Publikationsart
Konferenzveröffentlichung
Erscheinungsjahr
2017
Verlag
Bellingham, Washington, USA : SPIE
Quelle
MOEMS and Miniaturized Systems XVI, 30 January-1 February 2017, San Francisco, California, United States
ISBN
978-1-5106-0674-6
978-1-5106-0673-9
DOI
http://dx.doi.org/10.1117/12.2249575
Schriftenreihe(n) ; Bandnummer
Proceedings of SPIE ; 10116

Technological aspects of a new micro-electro-mechanical actuation principle: nano e-drive

Autor(en)
Langa, Sergiu, Conrad, Holger, Kaiser, Bert, Stolz, Michael, Gaudet, Matthieu, Uhlig, Sebastian, Schimmanz, Klaus, Schenk, Harald
Publikationsart
Wissenschaftlicher Zeitschriftenartikel referiert
Erscheinungsjahr
2017
Quelle
Microsystem Technologies, S. 5697 - 5708
Band/Jahrgang
23
Ausgabe/Heft
1
ISSN
1432-1858
DOI
http://dx.doi.org/10.1007/s00542-017-3360-6

CMOS-kompatible elektrostatische Biegeaktoren (CMOS-compatible electrostatic actuators

Autor(en)
Conrad, Holger, Gaudet, Matthieu, Kaiser, Bert, Langa, Sergiu, Stolz, Michael, Schenk, Harald
Publikationsart
Konferenzveröffentlichung
Erscheinungsjahr
2017
Verlag
Berlin [u.a.] : VDE-Verlag
Quelle
MikroSystemTechnik Kongress 2017, München, Germany, 23.-25. Oktober 2017, S. 219 - 222
ISBN
978-3-8007-4491-6

Electrostatically in-plane driven silicon micropump for modular configuration

Autor(en)
Uhlig, Sebastian, Gaudet, Matthieu, Langa, Sergiu, Schimmanz, Klaus, Conrad, Holger, Kaiser, Bert, Schenk, Harald
Publikationsart
Konferenzveröffentlichung
Erscheinungsjahr
2017
Verlag
Enschede : University of Twente
Quelle
Conference proceedings, The 3rd Conference on MicroFluidic Handling Systems (MFHS 2017), 4 - 6 October 2017, Enschede, The Netherlands, S. 57 - 60
URL
http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-477736.html

A novel electrostatic actuator class

Autor(en)
Conrad, Holger, Kaiser, Bert, Gaudet, Matthieu, Langa, Sergev, Stolz, Michael, Uhlig, Sebastian, Schimmanz, Klaus, Schenk, Harald
Publikationsart
Wissenschaftlicher Zeitschriftenartikel referiert
Erscheinungsjahr
2016
Quelle
Procedia Engineering, S. 1533 - 1536
Band/Jahrgang
168
ISSN
1877-7058
DOI
http://dx.doi.org/10.1016/j.proeng.2016.11.454

A novel electrostatic micro-actuator class and its application potential for optical MEMS

Autor(en)
Schenk, Harald, Conrad, Holger, Gaudet, Matthieu, Uhlig, Sebastian, Kaiser, Bert, Langa, Sergev, Stolz, Michael, Schimmanz, Klaus
Publikationsart
Konferenzveröffentlichung
Erscheinungsjahr
2016
Verlag
Piscataway, NJ : IEEE
Quelle
2016 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics,31 July-04 August 2016, Singapore, proceedings, S. 311-1 - 311-2
ISBN
978-1-5090-1036-3
DOI
http://dx.doi.org/10.1109/OMN.2016.7565867

Ion-sensitive structure and method of manufacturing the same

Autor(en)
Kurth, Eberhard, Kunath, Christian, Schenk, Harald
Publikationsart
Patent
Erscheinungsjahr
2016
Patentnummer
US 2016274057

Influence of annealing in H atmosphere on the electrical properties of Al₃O₃ layers grown on p-type Si by the atomic layer deposition technique

Autor(en)
Kolkovsky, Vladimir, Stübner, R., Langa, Sergev, Wende, U., Kaiser, Bert, Conrad, Holger, Schenk, Harald
Publikationsart
Wissenschaftlicher Zeitschriftenartikel referiert
Erscheinungsjahr
2016
Quelle
Solid-State Electronics, S. 89 - 95
Band/Jahrgang
123
ISSN
0038-1101
DOI
http://dx.doi.org/10.1016/j.sse.2016.06.005

About stress in filled DRIE-trenches

Autor(en)
Kaiser, Bert, Grashoff, Thomas, Drabe, Christian, Conrad, Holger, Schenk, Harald
Publikationsart
Wissenschaftlicher Zeitschriftenartikel referiert
Erscheinungsjahr
2015
Quelle
Journal of Micromechanics and Microengineering (JMM), S. 8085003
Band/Jahrgang
25
Ausgabe/Heft
8
ISSN
0960-1317
URL
http://iopscience.iop.org/article/10.1088/0960-1317/25/8/085003

A small-gap electrostatic micro-actuator for large deflections

Autor(en)
Conrad, Holger, Schenk, Harald, Kaiser, Bert, Langa, Sergiu, Gaudet, Matthieu, Schimmanz, Klaus, Stolz, Michael, Lenz, Miriam
Publikationsart
Wissenschaftlicher Zeitschriftenartikel referiert
Erscheinungsjahr
2015
Quelle
Nature Communications, S. 10078
Ausgabe/Heft
6
ISSN
2041-1723
DOI
http://dx.doi.org/10.1038/ncomms10078

Micromechanical element

Autor(en)
Conrad, Holger, Schenk, Harald, Schirrmann, Christian, Zimmer, Fabian, Schmidt, Jan-Uwe, Sandner, Thilo
Publikationsart
Patent
Erscheinungsjahr
2015
Patentnummer
US 9164277

MEMS-Wandler zum Interagieren mit einem Volumenstrom eines Fluids und Verfahren zum Herstellen desselben

Autor(en)
Schenk, Harald, Conrad, Holger, Gaudet, Matthieu, Schimmanz, Klaus, Langa, Sergev, Kaiser, Bert
Publikationsart
Patent
Erscheinungsjahr
2015
Patentnummer
WO 16202790

Spatially resolved contrast measurement of diffractive micromirror arrays

Autor(en)
Sicker, Cornelius, Heber, Jörg, Berndt, Dirk, Rückerl, Florian, Tinevez, Jean-Yves, Shorte, Spencer, Wagner, Michael, Schenk, Harald
Publikationsart
Wissenschaftlicher Zeitschriftenartikel nicht referiert
Erscheinungsjahr
2015
Verlag
Bellingham, Wash. : SPIE
Quelle
MOEMS and miniaturized systems XIV, 9 - 12 February 2015, San Francisco, California, United States, S. 93750-1 - 93750-10
ISBN
978-1-62841-465-3
Schriftenreihe(n) ; Bandnummer
Proceedings of SPIE ; 9375

Mikromechanisches System zum Durchstimmen von Lasern (Micromechanical system for tuning of lasers)

Autor(en)
Schenk, Harald, Grahmann, Jan, Wagner, Hans-Joachim, Ostendorf, Ralf, Rattunde, Marcel
Publikationsart
Patent
Erscheinungsjahr
2015
Patentnummer
US 2016336720

Widely tunable quantum cascade lasers for spectroscopic sensing

Autor(en)
Wagner, J., Ostendorf, Ralf, Grahmann, Jan, Merten, A., Hugger, S., Jarvis, J.-P., Fuchs, F., Boscovic, D., Schenk, Harald
Herausgeber
Razeghi, Manijeh
Publikationsart
Konferenzveröffentlichung
Erscheinungsjahr
2015
Verlag
Bellingham, Wash. : SPIE
Quelle
Quantum sensing and nanophotonic devices XII, 8 - 12 February 2015, San Francisco, California, United States, S. 937012-1 - 937012-6
ISBN
978-1-62841-460-8
Schriftenreihe(n) ; Bandnummer
Proceedings of SPIE ; 9370

Micro-scanning mirrors for high-power laser applications in laser surgery

Autor(en)
Sandner, Thilo, Kimme, S., Grashoff, Thomas, Todt, U., Graf, A., Tulea, C., Lenenbach, A., Schenk, Harald
Publikationsart
Konferenzveröffentlichung
Erscheinungsjahr
2014
Verlag
Bellingham : SPIE Press
Quelle
MOEMS and miniaturized systems XIII, 3 - 6 February 2014, San Francisco, California, United States, S. 897705-1 - 897705-11
ISBN
978-0-8194-9890-8
Schriftenreihe(n) ; Bandnummer
Proceedings of SPIE ; 8977

Quasi-static microscanner with linearized raster scanning for an adaptive 3D-laser camera

Autor(en)
Sandner, Thilo, Grashoff, Thomas, Schwarzenberg, Markus, Schroedter, R., Schenk, Harald
Publikationsart
Konferenzveröffentlichung
Erscheinungsjahr
2014
Verlag
Bellingham : SPIE Press
Quelle
SPIE Conference: MOEMS and Miniaturized Systems XIII, San Francisco, 2014, S. 897717-1 - 897717-9
ISBN
978-0-8194-9890-8
Schriftenreihe(n) ; Bandnummer
Proceedings of SPIE ; 8977

Quasistatic microscanner with linearized scanning for an adaptive three-dimensional laser camera

Autor(en)
Sandner, Thilo, Grashoff, Thomas, Schwarzenberg, Markus, Schroedter, Richard, Schenk, Harald
Publikationsart
Wissenschaftlicher Zeitschriftenartikel nicht referiert
Erscheinungsjahr
2014
Quelle
Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS, S. 011114-1 - 011114-10
Band/Jahrgang
13
Ausgabe/Heft
1
ISSN
1932-5134

Design an fabrication of a tunable two-fluid micro-lens device with a large deflection polymer actuator

Autor(en)
Schirrmann, Christian, Costache, Florenta Adriana, Bornhorst, Kirstin, Pawlik, Boscij, Rieck, Andreas, Schenk, Harald
Publikationsart
Wissenschaftlicher Zeitschriftenartikel referiert
Erscheinungsjahr
2014
Quelle
Procedia Engineering, S. 1553 - 1556
Ausgabe/Heft
87
ISSN
1877-7058

Translatory MOEMS actuator and system integration for miniaturized Fourier transform spectrometers

Autor(en)
Sandner, Thilo, Grashoff, Thomas, Gaumont, E., Schenk, Harald, Kenda, A.
Publikationsart
Wissenschaftlicher Zeitschriftenartikel nicht referiert
Erscheinungsjahr
2014
Quelle
Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS, S. 011115-1 - 011115-14
Band/Jahrgang
13
Ausgabe/Heft
1
ISSN
1932-5134

Micro mirrors for high-speed laser deflections and patterning

Autor(en)
Schenk, Harald, Grahmann, Jan, Sandner, Thilo, Wagner, M., Dauderstädt, U., Schmidt, J.-U.
Publikationsart
Wissenschaftlicher Zeitschriftenartikel nicht referiert
Erscheinungsjahr
2014
Quelle
Physics Procedia, S. 7 - 18
Ausgabe/Heft
Vol. 56

Development, characterization and application of compact spectrometers based on MEMS with in-plane capacitive drives

Autor(en)
Kenda, A., Kraft, M., Tortschanoff, A., Scherf, W., Sandner, T., Schenk, Harald, Luettjohann, S., Simon, A.
Publikationsart
Konferenzveröffentlichung
Erscheinungsjahr
2014
Verlag
Bellingham, Wash. : SPIE
Quelle
Next-generation spectroscopic technologies VII, 5 - 6 May 2014, Baltimore, Maryland, United States, S. 910102-1 - 910102-10
ISBN
978-1-62841-038-9
Schriftenreihe(n) ; Bandnummer
Proceedings of SPIE ; 9101

Apparatus and method for guiding optical waves

Autor(en)
Costache, Florenta Adriana, Blasl, Martin, Schenk, Harald
Publikationsart
Patent
Erscheinungsjahr
2014
Patentnummer
US 9046704

MEMS-based miniature near-infrared spectrometer for application in environmental and food monitoring

Autor(en)
Hintschich, Susanne, Pügner, Tino, Knobbe, Jens, Schröder, Julia, Reinig, Peter, Grüger, Heinrich, Schenk, Harald
Publikationsart
Wissenschaftlicher Zeitschriftenartikel nicht referiert
Erscheinungsjahr
2014
Quelle
Proceedings of the 8th International Conference on Sensing Technology, Sep. 2-4, 2014, Liverpool, UK, S. 430 - 434

Elektrostatisch auslenkbares mikromechanisches Bauelement

Autor(en)
Langa, Sergiu, Conrad, Holger, Schenk, Harald, Stolz, Michael
Publikationsart
Patent
Erscheinungsjahr
2014
Patentnummer
DE 10 2014 225 934.7

Tunable external cavity quantum cascade lasers (EC-QCL): an application field for MOEMS based scanning gratings

Autor(en)
Grahmann, Jan, Merten, André, Ostendorf, Ralf, Fontenot, M., Bleh, Daniela, Schenk, Harald, Wagner, Hans-Joachim
Publikationsart
Wissenschaftlicher Zeitschriftenartikel nicht referiert
Erscheinungsjahr
2014
Verlag
Bellingham : SPIE Press
Quelle
SPIE Conference: MOEMS and Miniaturized Systems XIII, San Francisco, 2014, S. 897708-1 - 897708-11
ISBN
978-0-8194-9890-8
Schriftenreihe(n) ; Bandnummer
Proceedings of SPIE ; 8977

MEMS basiertes Durchstimmen von Lasern

Autor(en)
Grahmann, Jan, Wagner, Hans-Joachim, Ostendorf, Ralf, Schenk, Harald, Rattunde, Marcel
Publikationsart
Patent
Erscheinungsjahr
2014
Patentnummer
DE 10 2014 201 701.7

Miniaturization of a fast tunable external cavity QCL with customized gratings and MOEMS components

Autor(en)
Bleh, D., Ostendorf, Ralf, Merten, A., Grahmann, Jan, Schenk, Harald, Kunzer, M., Schmidt, R., Wagner, J.
Publikationsart
Konferenzveröffentlichung
Erscheinungsjahr
2014
Quelle
International Quantum Cascade Lasers School & Workshop (IQCLSW), Policoro, Italy, S. 1 - 2
URL
http://www.iqclsw2014.cnr.it/wp-content/uploads/2014/03/Bleh-IQCLSW2014.pdf?0f100a

Quasistatic microscanner with linearized raster scanning for an adaptive 3D-laser camera

Autor(en)
Sandner, Thilo, Grashoff, Thomas, Schwarzenberg, Markus, Schenk, Harald, Tortschanoff, A.
Publikationsart
Konferenzveröffentlichung
Erscheinungsjahr
2013
Verlag
Bellingham, Wash. : SPIE
Quelle
SPIE Conference MOEMS and Miniaturized Systems XII, San Francisco, 2013, S. 861605-1 - 861605-6
ISBN
978-1-4799-1512-5
Schriftenreihe(n) ; Bandnummer
Proceedings of SPIE ; 8616

Design and Characterization of a hybrid-integrated MEMS scanning grating spectrometer

Autor(en)
Grüger, Heinrich, Knobbe, Jens, Pügner, Tino, Schenk, Harald
Publikationsart
Konferenzveröffentlichung
Erscheinungsjahr
2013
Verlag
Bellingham, Wash. : SPIE
Quelle
SPIE Conference MOEMS and Miniaturized Systems XII, San Francisco, 2013, S. 86160-1 - 86160-13
ISBN
978-0-8194-9385-9
DOI
http://dx.doi.org/10.1117/12.2004215
Schriftenreihe(n) ; Bandnummer
Proceedings of SPIE ; 8616

First application close measurements applying the new hybrid integrated MEMS spectrometer

Autor(en)
Grüger, Heinrich, Pügner, Tino, Knobbe, Jens, Schenk, Harald
Publikationsart
Konferenzveröffentlichung
Erscheinungsjahr
2013
Verlag
Bellingham, Wash. : SPIE
Quelle
SPIE Conference Next-Generation Spectroscopic Technologies VI, Baltimore, S. 872609-1 - 872609-9
ISBN
978-0-8194-9517-4
DOI
http://dx.doi.org/10.1117/12.2016085
Schriftenreihe(n) ; Bandnummer
Proceedings of SPIE ; 8726

Micro-scanning mirrors for high-power laser applications in laser surgery

Autor(en)
Sandner, Thilo, Kimme, S., Grashoff, Thomas, Todt, U., Graf, A., Schenk, Harald, Tulea, C., Lenenbach, A.
Publikationsart
Konferenzveröffentlichung
Erscheinungsjahr
2013
Verlag
Piscataway, NJ : IEEE
Quelle
International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics Conference, OMN 2013, Proceedings, 18-22 August 2013, Kanazawa, Japan, S. 83 - 84
ISBN
978-1-4799-1512-5

Method for generating a micromechanical structure

Autor(en)
Jung, Denis, Drabe, Christian, Schenk, Harald, Sandner, Thilo, Klose, Thomas, Wolter, Alexander
Publikationsart
Patent
Erscheinungsjahr
2013
Patentnummer
DE 10 2008 013 116

Optical device comprising a structure for avoiding reflections

Autor(en)
Sandner, Thilo, Schenk, Harald
Publikationsart
Patent
Erscheinungsjahr
2013
Patentnummer
DE 10 2008 012 810 B4

Wafer level vacuum packaging of scanning micro-mirrors using glass-frit and anodic bonding methods

Autor(en)
Langa, Sergiu, Drabe, Christian, Kunath, Christian, Dreyhaupt, André, Schenk, Harald
Publikationsart
Wissenschaftlicher Zeitschriftenartikel nicht referiert
Erscheinungsjahr
2013
Verlag
Bellingham, Wash. : SPIE
Quelle
SPIE Conference MOEMS and Miniaturized Systems XII, San Francisco, 2013, S. 86140-1 - 86140-8
ISBN
978-0-8194-9385-9
DOI
http://dx.doi.org/10.1117/12.2003525
Schriftenreihe(n) ; Bandnummer
Proceedings of SPIE ; 8614

Optical position feedback for electrostatically driven MOEMS-scanners

Autor(en)
Tortschanoff, A., Baumgart, M., Frank, A., Wildenhain, Michael, Sandner, Thilo, Schenk, Harald, Kenda, A.
Publikationsart
Konferenzveröffentlichung
Erscheinungsjahr
2012
Verlag
Bellingham : SPIE, The Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers
Quelle
SPIE Conference MOEMS and Miniaturized Systems XI, San Francisco, 2012, S. 82520-1 - 82520-8
ISBN
978-0-8194-8930-2
URL
http://dx.doi.org/10.1117/12.907761
Schriftenreihe(n) ; Bandnummer
Proceedings of SPIE ; 8252

Vertical comb drive microscanners for beam steering, linear scanning and laser projection applications

Autor(en)
Jung, Denis, Sandner, Thilo, Kallweit, David, Schenk, Harald
Publikationsart
Konferenzveröffentlichung
Erscheinungsjahr
2012
Verlag
Bellingham : SPIE, The Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers
Quelle
SPIE Conference MOEMS and Miniaturized Systems XI, San Francisco, 2012, S. 82520-1 - 82520-10
ISBN
978-0-8194-8930-2
URL
http://dx.doi.org/10.1117/12.906690
Schriftenreihe(n) ; Bandnummer
Proceedings of SPIE ; 8252

MOEMS and miniaturized systems XI : San Francisco, California, USA, January 21, 2012

Herausgeber
Schenk, Harald, Piyawattanametha, Wibool, Noell, Wilfried
Publikationsart
Konferenzveröffentlichung
Erscheinungsjahr
2012
Verlag
Bellingham : SPIE, The Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers
Erste Seite
825203-1
Letzte Seite
825210-6
ISBN
978-0-8194-8930-2
Schriftenreihe(n) ; Bandnummer
Proceedings of SPIE ; 8252

Realization of a hybrid-integrated MEMS scanning grating spectrometer

Autor(en)
Pügner, Tino, Knobbe, Jens, Grüger, Heinrich, Schenk, Harald
Publikationsart
Konferenzveröffentlichung
Erscheinungsjahr
2012
Verlag
Bellingham : SPIE, The Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers
Quelle
SPIE Conference Next-Generation Spectroscopic Technologies V, 23 - 24 April 2012, Baltimore, Maryland, S. 83740-1 - 83740-8
URL
http://dx.doi.org/10.1117/12.919068
Schriftenreihe(n) ; Bandnummer
Proceedings of SPIE ; 8374

Laser projector solution based on two 1D resonant micro scanning mirrors assembled in a low vertical distortion scan head

Autor(en)
Grahmann, Jan, Wildenhain, Michael, Grashoff, Thomas, Gerwig, Christian, Dallmann, Hans-Georg, Wolter, Alexander, Schenk, Harald
Publikationsart
Konferenzveröffentlichung
Erscheinungsjahr
2012
Verlag
Bellingham : SPIE, The Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers
Quelle
SPIE Conference MOEMS and Miniaturized Systems XI, San Francisco, 2012, S. 825205-1 - 825205-9
ISBN
978-0-8194-8930-2
URL
http://dx.doi.org/10.1117/12.910671
Schriftenreihe(n) ; Bandnummer
Proceedings of SPIE ; 8252

Bi-resonant scanning mirror with Piezo-resistive position sensor for WVGA laser projection systems

Autor(en)
Drabe, Christian, Kallweit, David, Dreyhaupt, Andre, Grahmann, Jan, Schenk, Harald, Davis, Wyatt
Publikationsart
Konferenzveröffentlichung
Erscheinungsjahr
2012
Verlag
Bellingham : SPIE Press
Quelle
SPIE Conference MOEMS and Miniaturized Systems XI, San Francisco, 2012, S. 825209-1 - 825209-10
ISBN
978-0-8194-8930-2
DOI
http://dx.doi.org/10.1117/12.910203
Schriftenreihe(n) ; Bandnummer
Proceedings of SPIE ; 8252

Translatory MEMS actuator and their system integration for miniaturized Fourier transform spectrometers

Autor(en)
Sandner, Thilo, Grashoff, Thomas, Schenk, Harald, Kenda, Andreas
Publikationsart
Konferenzveröffentlichung
Erscheinungsjahr
2012
Verlag
Bellingham : SPIE Press
Quelle
SPIE Conference MOEMS and Miniaturized Systems XI, San Francisco, 2012, S. 82520-1 - 82520-10
ISBN
978-0-8194-8930-2
DOI
http://dx.doi.org/10.1117/12.909817
Schriftenreihe(n) ; Bandnummer
Proceedings of SPIE ; 8252

Micro Mirrors

Autor(en)
Schenk, Harald, Hornbeck, L. J.
Herausgeber
Waser, Rainer
Publikationsart
Teil eines Buches (Kapitel)
Erscheinungsjahr
2012
Verlag
Weinheim : Wiley-VCH-Verlag
Quelle
Nanoelectronics and information technology : advanced electronic materials and novel devices, S. 985 - 999
ISBN
978-3-527-40927-3

Method for the compensation of deviations occurring as a result of manufacture in the manufacture of micromechanical elements and their use

Autor(en)
Klose, Thomas, Wolter, Alexander, Schenk, Harald
Publikationsart
Patent
Erscheinungsjahr
2012
Patentnummer
DE10 2006 043 388 (10.04.2008)

Mikromechanisches Bauelement mit erhöhter Steifigkeit und Verfahren zum Herstellen desselben (Micromechanical component having inncreased stiffness, and method for the production of the same

Autor(en)
Schenk, Harald, Sandner, Thilo
Publikationsart
Patent
Erscheinungsjahr
2012
Patentnummer
DE 11 2007 003 051

Micromechanical device with tilted electrodes

Autor(en)
Schenk, Harald, Sandner, Thilo, Drabe, Christian, Klose, Thomas, Jung, Denis
Publikationsart
Patent
Erscheinungsjahr
2012
Patentnummer
DE 10 2008 012 825

Fluidic Variable Focal length optical Lens and Method of Manufacturing the same

Autor(en)
Costache, Florenta Adriana, Schenk, Harald, Bornhorst, K., Schirrmann, Christian
Publikationsart
Patent
Erscheinungsjahr
2012
Patentnummer
DE 11 2010 005 674.9