Die Professur Mikro- und Nanosysteme beschäftigt sich mit der Erforschung und Entwicklung von siliziumbasierten MEMS-Bauelementen und darauf aufbauender Systeme. Die inhaltlichen Arbeiten werden in enger Kooperation mit dem Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS durchgeführt. Dort stehen insbesondere hochmoderne Prozesse zur Herstellung von mikro- und nanoskalierten Aktoren und Sensoren zur Verfügung.