Photovoltaik - PEALD-Nitrid; BMWi, ZIM 16KN033522

Photovoltaik - PEALD-Nitrid

Prozessentwicklung der plasmagestützten Atomlagenabscheidung von Nitridschichten

Teilprojekt: Spektroskopische, mikroskopische und elektrische Charakterisierung von PEALD-Nitridschichten

Das Gesamtziel des Vorhabens besteht in der Erforschung und Entwicklung eines Verfahrens zur plasmagestützten Atomlagenabscheidung (PEALD) von hochqualitativen dünnen Nitridschichten (AlN, TiN, SiN und GaN) auf 4 und 8 Zollsubstraten in einer zu entwickelnden ALD-Demonstratoranlage.

Weiterführende Informationen finden Sie hier

Co-operation Partners:

Institut National de la Recherche Scientifique - Énergie, Matériaux et Télécommunications (INRS-EMT), Canada (http://www.inrs.ca/english/jean-pol-dodelet)

Cnetique, Canada (http://www.canetique.com/)

Related Publications:

"Structure of the catalytic sites in Fe/N/C-catalysts for O2-reduction in PEM fuel cells"

U.I. Kramm, J. Herranz, N. Larouche, T. Arruda, M. Lefèvre, F. Jaouen, P. Bogdanoff, S. Fiechter, I. Abs-Wurmbach, S, Mukerjee, J.-P. Dodelet, Phys.Chem.Chem.Phys.(2012), accepted, DOI: 10.1039/c2cp41957b

online (dx.doi.org/10.1039/c2cp41957b)

"Multi-Technique Characterization of a Polyaniline-Iron-Carbon Oxygen Reduction Catalyst"

M. Ferrandon, A. J. Kropf, D. J. Myers, K. A., U.I. Kramm, P. Bogdanoff, G. Wu, C. M. Johnston, P. Zelenay, J. Phys. Chem. C, accepted, DOI: 10.1021/jp302396g online (dx.doi.org/10.1021/jp302396g)

Related conference contributions:

Fe-N-C catalysts for PEM fuel cells - a breakthrough in the development of cheap oxygen reduction catalysts?!

U. I. Kramm, Keynote Lecture (Tuesday 18.09.2012), Electrochemistry, 17th to 19th of September 2012, München
(https://www.gdch.de/veranstaltungen/tagungen/tagungen-2012/electrochemistry-2012.html)
(https://www.physik.tu-cottbus.de/physik/ap2/tagungen/electrochemistry/electrochemistry_2012/electrochemistry_2012_kramm.pdf)

Fe-N-C catalysts - Investigating the degradation induced by PEM fuel cell vs. room temperature conditions

U. I. Kramm, M. Lefèvre, I. Herrmann-Geppert, P. Bogdanoff, J.-P. Dodelet, S. Fiechter
Talk (symposium 5a, Tuesday 21.08.2012), 63rd ISE Annual Meeting, 19th to 24th August 2012 in Prague, Czech Republic (http://event12.ise-online.org/index.php)
abstract(https://www.physik.tu-cottbus.de/physik/ap2/tagungen/ise/ise_2012/ise_2012_kramm.pdf

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