Veröffentlichung in »ACS Applied Electronic Materials«
C. Morales, P. Plate, L. Marth, F. Naumann, M. Kot, C. Janowitz, P. Kus, M. Zoellner, C. Wenger, K. Henkel, J. I. Flege
Bottom-Up Design of a Supercycle Recipe for Atomic Layer Deposition of Tunable Indium Gallium Zinc Oxide Thin Films
ACS Applied Electronic Materials 6 (2024) 5694-5704
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Dr. Carlos Morales Sanchez
Angewandte Physik und Halbleiterspektroskopie
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Prof. Dr. rer. nat. habil. Jan Ingo Flege
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