Förderung der Infrastruktur für Forschung, Entwicklung und Innovation

Das Projekt »In-situ Prozesskontrolle in Echtzeit zur optimierten Dünnschichtherstellung funktionaler Oxide« Projekt wurde zum 01.09.2021 bewillligt.

Die zweckgebundene Zuwendung wird gewährt auf der Grundlage der Richtlinie des Ministeriums
für Wissenschaft, Forschung und Kultur (MWFK) zur Förderung der Infrastruktur für Forschung, Entwicklung und Innovation aus dem EFRE (InfraFEI).
Diese Förderung wird aus Mitteln des Europäischen Fonds für regionale Entwicklung (EFRE) kofi-nanziert.

Weitere Informationen über unser Projekt.

Kontakt

Prof. Dr. rer. nat. habil. Ingo Flege
Angewandte Physik und Halbleiterspektroskopie
T +49 (0) 355 69-5352
flege(at)b-tu.de

Dr.-Ing. Karsten Henkel
Angewandte Physik und Halbleiterspektroskopie
T +49 (0) 355 69-5354
karsten.henkel(at)b-tu.de