Veröffentlichung in »Inorganics«
C. Morales, A. Mahmoodinezhad, R. Tschammer, J. Kosto, C. Alvarado Chavarin, M. A. Schubert, C. Wenger, K. Henkel, J. I. Flege
Combination of multiple operando and in-situ characterization techniques in a single cluster system for atomic layer deposition: Unraveling the early stages of growth of ultrathin Al2O3 films on metallic Ti substrates
Inorganics 11 (2023) 477
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Dr. Carlos Morales Sanchez
Angewandte Physik und Halbleiterspektroskopie
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