ex-situ ALD-System
System zur Atomlagenabscheidung (ALD) auf größeren Proben (bis zu ⌀=5 cm)
ex-situ ALD-Reaktor (Foto: Karsten Henkel)
ALD-Ventile (Foto: Karsten Henkel)
LabVIEW gesteuerter ex-situ ALD-Reaktor (Foto: Karsten Henkel)
Ansteuerungsverdrahtung (Foto: Karsten Henkel)
ALD-Reaktor
- UHV-kompatible Edelstahlkammer
- Heizbarer (bis 1000°C) Probenhalter mit SiN-Heizer
- Betrieb in Durchfluss- oder gepumpten Modus
- Gasmischung und -versorgung:
- VCR-basiert
- 3 Hauptleitungen über Massenflussmesser (Bronkhorst) gesteuert
- 3 Leitungen für Präkuroren (mit hohem, niedrigem und mittlerem Dampfdruck)
- 3 Leitungen für Oxidant/Reaktant (H2O, O3/O2...)
- 1 Spülleitung (N2)
- Leitungen heizbar bis 120°C
- Pneumatische ALD-Ventile (Swagelok)
- Ozongenerator (Oxidation Technologies)
- Steuerungssoftware: Lab-View