Chemie der Siliane
3. Siliciumtetrachlorid - Nebenprodukte der Siliciumabscheidung
Hochreines HSiCl3 wird in Gegenwart von Wasserstoff an 1000 °C heißen Siliciumstäben zu polykristallinem Silicium zersetzt. Anstatt der erwarteten 75 %igen Ausbeute an Silicium (bezogen auf Trichlorsilan) in Umkehrung von Gl. (2), werden auf Grund kinetischer Hemmungen nur Ausbeuten von ca. 25 % erreicht (Gl. 4).
Aus diesem Grund wird die Abscheidung in Gegenwart von Wasserstoff durchgeführt, um die Ausbeute an Silicium zu erhöhen (Gl. 5).
Das anfallende hochreine SiCl4 wird zu Kieselsäureverbindungen hydrolysiert oder, wie nachfolgend beschrieben, durch verschiedene Verfahren wieder in Trichlorsilan konvertiert.